[发明专利]用于测量氮化镓的质量的设备

权利要求书

1.一种用于测量氮化镓质量的设备，包括：

光源，被布置在氮化镓衬底的上方，其中所述光源向所述氮化镓衬底的表面发射光；和

测量单元，被布置在所述氮化镓衬底的上方，其中所述测量单元基于从所述氮化镓衬底辐射的光的光谱来测量所述氮化镓衬底的质量。

2.根据权利要求1所述的设备，其中从所述光源发出的光是紫外辐射。

3.根据权利要求2所述的设备，其中所述光具有365nm或更短的波长。

4.根据权利要求1所述的设备，其中所述光源包括：

光产生单元；

光供应单元，连接至所述光产生单元，其中所述光供应单元将所述光产生单元产生的光供应至所述氮化镓衬底的表面；和

透镜单元，被布置在所述光供应单元的面对所述氮化镓衬底的一端，其中所述透镜单元将所述光供应单元所供应的光聚焦至所述氮化镓衬底的表面。

5.根据权利要求4所述的设备，其中所述透镜单元被布置为使得从所述透镜单元至所述氮化镓衬底的距离处于所述透镜单元的焦距±30mm的范围内。

6.根据权利要求1所述的设备，其中所述测量单元包括：

拍照单元，用于获得所述氮化镓衬底的图像；

显示单元，连接至所述拍照单元，其中所述显示单元显示从所述拍照单元传输的图像；和

控制单元，用于控制所述拍照单元和所述显示单元的操作。

7.根据权利要求6所述的设备，其中所述拍照单元包括电荷耦合器件照相机，所述电荷耦合器件照相机具有位于其前部分中的光学透镜。

8.根据权利要求1所述的设备，进一步包括载物台，所述氮化镓衬底被装在所述载物台上。

9.根据权利要求8所述的设备，进一步包括沿一个方向移动多个所述载物台的传送带。