[发明专利]一种反应磁控溅射镀膜的紫外线辅助装置

权利要求书

1.一种反应磁控溅射镀膜的紫外线辅助装置，包括紫外灯灯座，安装在紫外灯灯座上的紫外灯，用于收纳、保护和聚焦紫外线的紫外灯灯罩，其特征在于，还包括防止被反应磁控溅射镀膜产生的沉积化合物污染紫外灯的多孔金属柱，所述多孔金属柱与紫外灯灯罩连接，多孔金属柱内部开有过孔。

2.根据权利要求1所述的一种反应磁控溅射镀膜的紫外线辅助装置，其特征在于，还包括用于支撑紫外灯灯座的金属条，所述金属条为扁薄型。

3.根据权利要求1所述的一种反应磁控溅射镀膜的紫外线辅助装置，其特征在于，所述紫外灯发光点位于紫外灯灯罩的一个焦点上，紫外灯发射的紫外光经紫外灯灯罩内壁反射后以平行光方式射出。

4.根据权利要求2所述的一种反应磁控溅射镀膜的紫外线辅助装置，其特征在于，所述紫外灯灯座上设置有聚焦紫外线的反光杯。

5.根据权利要求3所述的一种反应磁控溅射镀膜的紫外线辅助装置，其特征在于，所述过孔至少为两个且均匀分布在多孔金属柱内，过孔的孔径在1mm到10mm之间，过孔内壁光滑，多孔金属柱的高度与过孔的孔径比例大于10。

6.根据权利要求3所述的一种反应磁控溅射镀膜的紫外线辅助装置，其特征在于，紫外灯灯罩内壁上开有紫外灯灯座导线引出孔。

7.根据权利要求5所述的一种反应磁控溅射镀膜的紫外线辅助装置，其特征在于，所述多孔金属柱材质为金属铜或金属铝。

8.根据权利要求7所述的一种反应磁控溅射镀膜的紫外线辅助装置，其特征在于，多孔金属柱通过螺纹或卡扣方式与紫外灯灯罩连接。

9.根据权利要求1-8所述的任意一项反应磁控溅射镀膜的紫外线辅助装置，其特征在于，所述紫外灯灯罩为半球状。