[发明专利]WAT探针卡智能处理系统及方法有效
申请号: | 201310258243.0 | 申请日: | 2013-06-26 |
公开(公告)号: | CN103336256A | 公开(公告)日: | 2013-10-02 |
发明(设计)人: | 周波;莫保章;席与凌 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | G01R35/00 | 分类号: | G01R35/00 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 陆花 |
地址: | 201203 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | wat 探针 智能 处理 系统 方法 | ||
1.一种WAT探针卡智能处理系统,至少包括:
统计模组,实时记录并统计探针卡扎针次数;
检测模组,检测探针卡的累积扎针次数;
判断模组,判断探针卡的累计扎针次数是否超过设定的上限,若未超过,则继续测试,否则启动提示模组;
提示模组,于该判断模组的判断结果为超过设定的上限时,发出提示信息。
2.如权利要求1所述的一种WAT探针卡智能处理系统,其特征在于,该系统还包括:
读取模组,用于访问机台上记录扎针次数的文件;
重置模组,于探针卡维修或换针后,将该探针卡在机台上的探针卡扎针记录重置。
3.如权利要求2所述的一种WAT探针卡智能处理系统,其特征在于:该系统还包括存储模组,以于探针卡维修或换针后,将该探针卡的历史记录存入数据库。
4.如权利要求1所述的一种WAT探针卡智能处理系统,其特征在于:该提示信息为弹出提示画面或发出相应的提示音或其组合。
5.如权利要求1所述的一种WAT探针卡智能处理系统,其特征在于:该读取模组及该重置模组利用开发的外围软件直接访问机台上记录扎针次数的文件。
6.一种WAT探针卡智能处理方法,包括如下步骤:
步骤一,实时记录并统计探针卡扎针次数;
步骤二,检测探针卡的累积扎针次数;
步骤三,判断探针卡的累计扎针次数是否超过设定的上限,若未超过,则继续测试,否则进入步骤四;
步骤四,发出提示信息。
7.如权利要求6所述的一种WAT探针卡智能处理方法,其特征在于,于步骤四后,还包括如下步骤:
当探针卡维修完成或换针完成后,访问机台上记录卡扎针次数的文件;
将机台上的记录存入数据库,并将对应的记录重置。
8.如权利要求6所述的一种WAT探针卡智能处理方法,其特征在于:于步骤二中,于每次测试开始时自动检测探针卡的累积扎针次数。
9.如权利要求6所述的一种WAT探针卡智能处理方法,其特征在于:于步骤二中,于测试进行中,每测试完一片晶圆自动检测探针卡的累积扎针次数。
10.如权利要求6所述的一种WAT探针卡智能处理方法,其特征在于:于步骤二中,于一个批次测试完成后自动检测探针卡的累积扎针次数。
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