[发明专利]超声波检查装置及超声波检查方法

权利要求书

1.一种超声波检查装置，其特征在于，

具备：

能在水平方向上进行扫描的扫描单元；

安装在上述扫描单元上的垂直方向的高度调整单元；

安装在上述高度调整单元上的支架；

安装在上述支架上的超声波探测器；

喷嘴附件，其使水从喷嘴流出，并形成从设在上述超声波探测器的前端的透镜向工件的表面的连续的水流；以及

间隙调整单元，其安装在上述高度调整单元或上述支架上，能使上述喷嘴附件在垂直方向上移动，

利用上述高度调整单元，能调整上述透镜与上述工件的表面的距离，

利用上述间隙调整单元，使上述超声波探测器的上述透镜的位置在上述喷嘴附件的内部沿垂直方向变化，并且能调整上述喷嘴的与上述工件的相对面和上述工件的表面的距离。

2.根据权利要求1所述的超声波检查装置，其特征在于，

在超声波检查时，上述间隙调整单元使上述喷嘴与上述工件的表面的距离为3mm以下。

3.根据权利要求1或2所述的超声波检查装置，其特征在于，

还具备水供给单元，其连接在上述喷嘴附件上，并向该喷嘴附件供给水。

4.根据权利要求3所述的超声波检查装置，其特征在于，

在除去上述超声波探测器的上述透镜的表面的气泡时，上述间隙调整单元使上述喷嘴附件与上述水供给单元的连接部、即水供给通道连接部为与上述透镜大致相同的高度。

5.根据权利要求4所述的超声波检查装置，其特征在于，

具备流量调整单元，其调整利用上述水供给单元供给的流量，

上述流量调整单元使在上述气泡除去时供给的流量比在超声波检查时供给的流量大。

6.根据权利要求1～5任一项所述的超声波检查装置，其特征在于，

上述喷嘴的开口直径是上述透镜的透镜直径以上。

7.一种超声波检查方法，其为超声波检查装置的超声波检查方法，该超声波检查装置具备：能在水平方向上进行扫描的扫描单元；安装在上述扫描单元上的垂直方向的高度调整单元；安装在上述高度调整单元上的支架；安装在上述支架上的超声波探测器；喷嘴附件，其使水从喷嘴流出，并形成从设在上述超声波探测器的前端的透镜向工件的表面的连续的水流；以及间隙调整单元，其安装在上述高度调整单元或上述支架上，能使上述喷嘴附件在垂直方向上移动，

该超声波检查方法的特征在于，

具备下述步骤：

通过向上述喷嘴附件供给水，并使水从上述喷嘴流出，形成从上述透镜向上述工件的表面的连续的水流；

利用上述高度调整单元调整上述透镜与上述工件的表面的高度；

利用上述间隙调整单元使上述超声波探测器的上述透镜的位置在上述喷嘴附件的内部沿垂直方向变化，并且调整上述喷嘴的与上述工件的相对面和上述工件的表面的距离；以及

利用上述超声波探测器执行上述工件的超声波检查。

8.根据权利要求7所述的超声波检查方法，其特征在于，

调整上述距离的步骤使上述喷嘴与上述工件的表面的距离为3mm以下。

9.根据权利要求7或8所述的超声波检查方法，其特征在于，

形成上述水流的步骤利用上述间隙调整单元使上述喷嘴附件的水供给通道连接部为与上述透镜大致相同的高度，并除去上述透镜的表面的气泡。

10.根据权利要求9所述的超声波检查方法，其特征在于，

形成上述水流的步骤使向上述喷嘴附件供给的水的流量比在执行上述超声波检查的步骤时供给的流量大。

11.根据权利要求7～10任一项所述的超声波检查方法，其特征在于，

上述喷嘴的开口直径是上述透镜的透镜直径以上。