[发明专利]一种在线反馈ITO薄膜特性装置无效
| 申请号： | 201310256876.8 | 申请日： | 2013-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN103290380A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 李晨光 | 申请（专利权）人： | 南昌欧菲光科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 南昌新天下专利商标代理有限公司 36115 | 代理人： | 施秀瑾 |
| 地址： | 330000 江西*** | 国省代码： | 江西;36 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 在线 反馈 ito 薄膜 特性 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种在线反馈ITO薄膜特性装置，它包括ITO靶材（1）、铜背板（2）、冷却装置（3）、 工艺气体进气口Ⅰ（4）、工艺气体进气口Ⅱ（5）、反应气体进气口Ⅰ（6）、反应气体进气口Ⅱ（7）、监测光纤探头（8）、基材（9）、镀膜腔室（10）、阴极护罩（11）；
其特征在于：ITO靶材（1）绑定于铜背板（2）表面，铜背板（2）的另一面固定有冷却装置（3）；
工艺气体进气口Ⅰ（4）、工艺气体进气口Ⅱ（5）置于阴极靶下方，分为左右两路；
反应气体进气口Ⅰ（6）、反应气体进气口Ⅱ（7）置于阴极靶上方，分为左右两路；
阴极靶正上方为基材（9）；监测光纤探头（8）放置于反应溅射腔室侧壁反应气体进气口Ⅱ（7）下方。
2.根据权利要求1所述的在线反馈ITO薄膜特性装置，其特征在于：等离子体发射监测系统（12）和数据处理装置（13）与上述监测光纤探头（8）连接。
3.根据权利要求1或2所述的在线反馈ITO薄膜特性装置，其特征在于：所述监测光纤探头（8）的数量为3个，与靶材平行方向等距放置。
4.根据权利要求1或2所述的在线反馈ITO薄膜特性装置，其特征在于：所述基材（9）为玻璃基材或者柔性PET基材，靶基距为100mm-150mm。
5.根据权利要求1或2所述的在线反馈ITO薄膜特性装置，其特征在于：阴极靶位采用直流单靶位，电源采用直流电源。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南昌欧菲光科技有限公司，未经南昌欧菲光科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201310256876.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：显示器的支撑装置
- 下一篇：旋风除尘器中的隔离装置
- 同类专利
- 专利分类
