[发明专利]基于MEMS的光圈调整装置及其制备方法

权利要求书

1.一种基于MEMS的光圈调整装置，包括：

一个不透明的可变形光圈环；

多组导电变形横梁和导电柱，每组中每条导电变形横梁与相邻的导电柱相对应，所述导电变形横梁和导电柱相互间隔地分布在所述可变形光圈环的周围，所述导电变形横梁是悬空的，所述导电变形横梁的内边缘与所述可变形光圈环的外边缘固定粘结；

一个或多个固定件，所述导电变形横梁的外边缘与所述固定件相固接，所述导电柱与所述固定件相固接且保持静止；

利用每组中导电变形横梁与导电柱之间的静电力，所述每组中导电变形横梁相对于导电柱移动，由此所述可变形光圈环被拉伸，同时所述可变形光圈环作顺时针或逆时针旋转，从而所述可变形光圈环的内孔面积发生改变。

2.根据权利要求1所述的基于MEMS的光圈调整装置，其特征在于，所述多组导电变形横梁和导电柱相对于可变形光圈环对称地分布在所述可变形光圈环的周围。

3.根据权利要求1所述的基于MEMS的光圈调整装置，其特征在于，在沿着所述可变形光圈环的径向向外的方向上，所述每组中的导电变形横梁和导电柱之间的距离逐渐减小。

4.根据权利要求1所述的基于MEMS的光圈调整装置，其特征在于，所述导电变形横梁呈镰刀状，包括弯曲部和平面部，所述导电变形横梁的弯曲部的内边缘与所述可变形光圈环的外边缘固定粘结。

5.根据权利要求1所述的基于MEMS的光圈调整装置，其特征在于，在所述可变形光圈环的径向上，所述导电变形横梁的侧面是平面。

6.根据权利要求1至5任一项所述的基于MEMS的光圈调整装置，其特征在于，所述导电变形横梁包括多个第一导电变形横梁和多个第二导电变形横梁，所述导电柱包括与所述多个第一导电变形横梁相对应的多个第一导电柱和与所述多个第二导电变形横梁相对应的多个第二导电柱；

所述第一导电变形横梁和第二导电变形横梁相互间隔地分布在所述可变形光圈环的周围，所述第一导电柱和第二导电柱相互间隔地分布在所述可变形光圈环的周围；

当所述每组导电变形横梁和导电柱具有相异电荷时，所述第一导电变形横梁和所述第二导电变形横梁具有相异电荷，所述第一导电柱和所述第二导电柱具有相异电荷。

7.根据权利要求6所述的基于MEMS的光圈调整装置，其特征在于，所述每组中的导电变形横梁的平面部和导电柱相向的内侧面之间具有夹角，当所述每组中的导电变形横梁和导电柱之间静电吸引时，所述每组中的导电变形横梁和导电柱之间的距离减小。

8.根据权利要求7所述的基于MEMS的光圈调整装置，其特征在于，所述每组中的导电变形横梁的平面部和导电柱相向的内侧面之间的夹角为5°-50°。

9.根据权利要求1所述的基于MEMS的光圈调整装置，其特征在于，所述每组中的导电变形横梁和导电柱相向的内侧面的侧壁上具有介电质层。

10.根据权利要求1所述的基于MEMS的光圈调整装置，其特征在于，所述可变形光圈环为圆环状。

11.根据权利要求1所述的基于MEMS的光圈调整装置，其特征在于，所述可变形光圈环由不透明弹性体制成。

12.根据权利要求1所述的基于MEMS的光圈调整装置，其特征在于，所述导电变形横梁、导电柱和固定件由半导体制成。

13.根据权利要求1所述的基于MEMS的光圈调整装置，其特征在于，所述导电变形横梁、导电柱和固定件由硅制成。

14.根据权利要求1所述的基于MEMS的光圈调整装置，其特征在于，所述基于MEMS的光圈调整装置的厚度为1um-1000um。

15.根据权利要求1所述的基于MEMS的光圈调整装置，其特征在于，所述基于MEMS的光圈调整装置还包括一个或多个可调节供电装置，一个或多个去电荷装置，所述可调节供电装置给所述导电变形横梁和导电柱提供电荷，所述去电荷装置去掉所述导电变形横梁和导电柱上面的电荷。