[发明专利]表面沉积有WC/W复合涂层的金刚石颗粒的制备方法有效
申请号: | 201310256654.6 | 申请日: | 2013-06-25 |
公开(公告)号: | CN103352200A | 公开(公告)日: | 2013-10-16 |
发明(设计)人: | 徐江;揭晓华;陶洪亮;王国栋 | 申请(专利权)人: | 南京航空航天大学;广东工业大学;广东奔朗新材料股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/36 | 分类号: | C23C14/36;C23C14/18;C23C14/06;B24D18/00 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 李纪昌;曹翠珍 |
地址: | 210016*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 表面 沉积 wc 复合 涂层 金刚石 颗粒 制备 方法 | ||
1.一种表面沉积有WC/W复合涂层的金刚石颗粒的制备方法,其特征在于,由以下步骤进行:利用双阴极等离子溅射沉积法在金刚石颗粒表面形成金属涂层,使用溅射的靶材材料为W,其中金属涂层外层为W层,内层为WC层。
2.根据权利要求1所述的表面沉积有WC/W复合涂层的金刚石颗粒的制备方法,其特征在于,所述的溅射沉积法的工艺参数是:靶材电压820-1000 V,电流3.5-5.5A,料盘电压360-450 V,靶材与料盘间距为12-18 mm,工作气体为氩气,气压为32-42Pa,料盘温度600℃,沉积时间为2-3小时。
3.根据权利要求1所述的表面沉积有WC/W复合涂层的金刚石颗粒的制备方法,其特征在于,在进行溅射沉积之前,分别使用质量百分比为10%的NaOH溶液和5%的HNO3溶液对金刚石进行煮沸、漂洗。
4.根据权利要求1所述的表面沉积有WC/W复合涂层的金刚石颗粒的制备方法,其特征在于,复合涂层W层呈柱状晶结构,WC层为等轴状的晶粒结构。
5.根据权利要求1所述的表面沉积有WC/W复合涂层的金刚石颗粒的制备方法,其特征在于, WC层的晶粒尺寸是 30-50nm ,W层晶粒的尺寸是 70-200nm ;WC层和W层的总厚度为0.2-1μm。
6.根据权利要求4或5所述的表面沉积有WC/W复合涂层的金刚石颗粒在W-Co类硬质合金为基的金刚石工具中的应用。
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