[发明专利]硅叠切断装置

说明书

技术领域

半导体生产领域的硅叠切割加工机械，一种硅叠切断装置。

背景技术

在半导体生产加工中，需通过硅叠切断机将硅叠切割成硅粒子，切断机就是利用交流伺服电机的正反转以及翘翘板式联杆的上下运动，使金属丝象拉锯一样反复进行往返运动，带动悬浮磨粒来切割硬而脆的物体的机器。我公司利用切断机将硅叠切成硅粒子供下道工序用。

当前国内外所用的硅叠切断装置大多采用的直流晶体管推挽输出方式的控制系统，动力为特制的有刷直流电机，控制线路板均为分立元件焊接完成的，换向开关采用触点式行程开关，该系统具有成本高、故障率高、寿命短、维护费用高和维修周期长等缺点，有刷直流伺服电机维护保养不方便，需要经常更换碳刷，否则易接触不良，甚至产生电弧烧坏电机，且电机不易买到且价格高和加工定制周期长等缺点。

发明内容

本发明的目的是克服现有技术的不足，解决硅叠切断装置故障率高、寿命短、配件及维护费用高等缺点，提供一种采用无电刷和换向器的交流伺服电机的硅叠切断装置。

本发明是通过以下技术方案实现的：

一种硅叠切断装置，包括金属丝往复摆动机构、加压装置、新金属丝的输送机构、张力调节装置、报警机构和电机控制电路，其特征在于：金属丝往复摆动机构由驱动主电机、三只多槽滑轮、换向开关和切割金属丝组成，驱动主电机采用交流伺服电机，交流伺服电机无电刷和换向器，工作可靠，对维护保养要求低，换向开关为接近开关，发生过冲的几率少了，从而减少了断线，新金属丝的输送机构由放线电机通过减速箱与输送滑轮相连，由新金属丝的输送机构逐次少量供给新的金属丝. 使用过的金属丝通过收线电机卷取卷绕于卷丝管上，张力调节装置通过张力电机保持金属丝有一定的张力卷绕；张力电机为定转矩电机；报警机构包括主轴过载报警和断线报警；金属丝往复摆动机构的切割金属丝由数根细钢丝组成的一定间隔宽度的切割线组，细钢丝直径0.115-0.12mm，间隔宽度为0.77-2.07mm；驱动主电机用电位器控制的速度模拟电压实现无极调速。

本发明与现有技术相比具有以下有益效果：

1.工作可靠，对维护保养要求低；

2.速度快效率高；

3.抗过载能力强材料消耗少；

4.精度高，提高了产品的合格率。

附图说明

图1为硅叠切断装置结构原理图；

图2为硅叠切断装置电气原理图。

图中：驱动主电机1、放线电机2、张力电机3、C1多槽滑轮4-1、C2多槽滑轮4-2和C3多槽滑轮4-3。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的内容做进一步的描述：

如图1所示为硅叠切断装置结构原理图

金属丝从正面卷绕在三只多槽滑轮C1多槽滑轮4-1、C2多槽滑轮4-2和C3多槽滑轮4-3上,通过转动,金属丝从C2多槽滑轮移至C3多槽滑轮时便前进1间距,这样,便以螺旋状卷绕在滑轮上.多槽滑轮C3多槽滑轮,与驱动主电机1直接连接;C1多槽滑轮、C2多槽滑轮成为从动滑轮。

首先,说明金属丝的往复运动：

如果驱动主电机1按顺时针方向转动,则金属丝一起从C1多槽滑轮向C2多槽滑轮移动.因此,右侧的金属丝被C1多槽滑轮卷入,而左侧的金属丝则从C2多槽滑轮放出;翘翘板式联杆按顺时针方向转动.于是,安装在翘翘板式联杆后面的凸轮使接近开关动作，使驱动主电机1的电源极性反向,因此,驱动主电机1进行反转.当凸轮使接近开关再次动作时，主驱动主电机1再次反转.这样金属丝便反复进行往复运动。

加压:固定在安装台上的硅叠,依靠载荷用重锤,以一定的压力压贴在金属丝上.载荷的调整由控制板左侧的砝码调节。

新金属丝的输送: 放线电机2通过减速箱,与输送滑轮相连.依靠该机构可以逐次少量供给新的金属丝. 使用过的金属丝通过张力电机M1(收线电机)卷取卷绕于卷丝管上。

张力:张力电机3作为定转矩电机一边始终保持金属丝有一定的张力,一边进行卷绕。

报警:金属丝断线后由于收线电机的拉动,使翘翘板偏向一方,连接于翘翘板背面的凸轮同时偏向一方，下面的报警接近开关断开 ,报警继电器断开,报警灯亮,所有电机停止。