[发明专利]紫外、可见、近红外棱镜色散成像光谱仪有效
申请号: | 201310254080.9 | 申请日: | 2013-06-24 |
公开(公告)号: | CN103308167A | 公开(公告)日: | 2013-09-18 |
发明(设计)人: | 薛庆生;王淑荣 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01J3/28 | 分类号: | G01J3/28 |
代理公司: | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人: | 陶尊新 |
地址: | 130033 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 紫外 可见 红外 棱镜 色散 成像 光谱仪 | ||
1.紫外、可见、近红外棱镜色散成像光谱仪,包括CCD探测器(9)、电子学系统(10)、望远系统和光谱成像系统,所述望远系统包括孔径光阑(1)和望远镜(2),光谱成像系统包括入射狭缝(3)、平面折转镜(4)、准直镜(5)、色散棱镜(6)、成像镜(7)和分波段衰减滤光片(8);其特征是,所述入射狭缝(3)位于望远镜(2)和准直镜(5)的焦面上;目标发出的光束经孔径光阑(1)和望远镜(2)成像在入射狭缝(3)上,经入射狭缝(3)出射后的光束经平面折转镜(4)和准直镜(5)后入射至色散棱镜(6),经色散棱镜(6)的第一工作表面(a)透射的光束在色散棱镜(6)的第二工作表面(b)内反射后再次经第一工作表面(a)出射,所述出射光束经成像镜(7)聚焦会聚到分波段衰减滤光片(8)上,所述分波段衰减滤光片(8)对不同波段的光信号进行调节后成像到CCD探测器(8)上,在CCD探测器(9)上获得二维光谱图像,电子学系统(10)对二维光谱图像进行采集和处理。
2.根据权利要求1所述的紫外、可见、近红外棱镜色散成像光谱仪,其特征在于,所述的光谱成像系统的变倍比在0.8~1.2范围内。
3.根据权利要求1所述的紫外、可见、近红外棱镜色散成像光谱仪,其特征在于,所述望远镜(2)的反射面与平面折转镜(4)的反射面相对排列,平面折转镜(4)的反射面与准直镜(5)的反射面相对排列,准直镜(5)的反射面与色散棱镜(6)的第一工作表面(a)相对排列,色散棱镜(6)的第一工作表面(a)与成像镜(7)的反射面相对排列,成像镜(7)的反射面与CCD探测器(9)相对排列。
4.根据权利要求1所述的紫外、可见、近红外棱镜色散成像光谱仪,其特征在于,所述望远镜(2)、平面折转镜(4)、准直镜(5)和成像镜(7)的反射面均镀有紫外、可见、近红外波段的反射膜,反射率大于90%。
5.根据权利要求1所述的紫外、可见、近红外棱镜色散成像光谱仪,其特征在于,所述望远镜(2)为单块离轴抛物面镜、多片球面反射镜或离轴三反射镜中的任意一种。
6.根据权利要求1所述的紫外、可见、近红外棱镜色散成像光谱仪,其特征在于,所述准直镜(5)和成像镜(7)为离轴六次非球面反射镜。
7.根据权利要求1所述的紫外、可见、近红外棱镜色散成像光谱仪,其特征在于,所述平面折转镜(4)与入射狭缝(3)之间的距离d1与准直镜(5)的焦距f2之间满足:0.3f2≤d1≤0.4f2。
8.根据权利要求1所述的紫外、可见、近红外棱镜色散成像光谱仪,其特征在于,所述色散棱镜(6)的第一工作表面(a)即为入射又为出射面,镀紫外、可见、近红外增透膜,第二工作表面(b)为内反射面,镀有紫外、可见、近红外内反射膜,反射率大于90%;所述第一工作表面(a)中心到准直镜(5)顶点的距离为d2,第一工作表面(a)中心到成像镜(7)顶点的距离为d3,d2=d3;色散棱镜(6)的顶角α满足:10°≤α≤20°。
9.根据权利要求1所述的紫外、可见、近红外棱镜色散成像光谱仪,其特征在于,所述分波段衰减滤光片(8)的光谱透射率随波段变化,用于调节不同波段的入射光信号强度;分波段衰减滤光片(8)与CCD探测器的距离d2满足:3mm≤d4≤6mm。
10.根据权利要求1所述的紫外、可见、近红外棱镜色散成像光谱仪,其特征在于,所述CCD探测器(9)为紫外增强型探测器,在250~400nm波段的量子效率大于50%,CCD探测器(9)位于成像镜(7)的焦面上。
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