[发明专利]基于等离子体透镜阵列的非制冷红外焦平面探测器

权利要求书

1.基于等离子体透镜阵列的非制冷红外焦平面探测器，其特征在于，包括读出电路(5)，所述读出电路(5)上的铟柱(4)，所述铟柱(4)上的传感器阵列(3)，所述传感器阵列(3)上的红外谐振腔吸收器(2)，所述红外谐振腔吸收器(2)上的金属光栅等离子体透镜阵列(1)，所述金属光栅等离子体透镜阵列(1)由紧密排列的等离子体透镜构成，每个等离子体透镜由被刻蚀的中心小孔和多个宽度相同的同心圆环组成，同心圆环的周期固定。

2.根据权利要求1所述的基于等离子体透镜阵列的非制冷红外焦平面探测器，其特征在于，当探测器使用波段为8μm-12μm时，所述等离子体透镜的厚度为300nm-500nm。

3.根据权利要求1所述的基于等离子体透镜阵列的非制冷红外焦平面探测器，其特征在于，当探测器使用波段为8μm-12μm时，所述中心小孔的直径为1μm。

4.根据权利要求1所述的基于等离子体透镜阵列的非制冷红外焦平面探测器，其特征在于，当探测器使用波段为8μm-12μm时，所述同心圆环的个数为3-5个。

5.根据权利要求1所述的基于等离子体透镜阵列的非制冷红外焦平面探测器，其特征在于，当探测器使用波段为8μm-12μm时，所述同心圆环的周期为8-12μm。

6.根据权利要求1所述的基于等离子体透镜阵列的非制冷红外焦平面探测器，其特征在于，当探测器使用波段为8μm-12μm时，所述宽度为2-3μm。