[发明专利]测量静电卡盘的静电力的装置

权利要求书

1.一种测量静电卡盘的静电力的装置，其特征在于，包括： 

真空腔体； 

静电卡盘，所述静电卡盘设在所述真空腔体内； 

测力传感器，所述测力传感器在靠近所述静电卡盘和远离所述静电卡盘的方向上可移动地设在所述真空腔体内，且所述测力传感器适于连接晶片； 

动力装置，所述动力装置设在所述真空腔体上，且所述动力装置与所述测力传感器相连；和 

测距传感器，所述测距传感器设在所述真空腔体内。 

2.根据权利要求1所述的测量静电卡盘的静电力的装置，其特征在于，所述静电卡盘设在所述真空腔体内的底部，且所述动力装置设在所述真空腔体的顶部。 

3.根据权利要求2所述的测量静电卡盘的静电力的装置，其特征在于，所述真空腔体的底壁上设有安装孔，所述静电卡盘上设有与所述安装孔配合以封闭所述安装孔的安装法兰。 

4.根据权利要求3所述的测量静电卡盘的静电力的装置，其特征在于，所述安装法兰与所述真空腔体通过螺栓连接。 

5.根据权利要求2所述的测量静电卡盘的静电力的装置，其特征在于，所述动力装置包括直线电机，所述真空腔体的顶壁上设有支架，所述直线电机设在所述支架上，且所述直线电机的输出轴伸入所述真空腔体与所述测力传感器相连。 

6.根据权利要求5所述的测量静电卡盘的静电力的装置，其特征在于，所述直线电机的输出轴与所述真空腔体之间设有磁流体密封圈。 

7.根据权利要求1所述的测量静电卡盘的静电力的装置，其特征在于，所述测力传感器上设有适于连接晶片的吸盘。 

8.根据权利要求1所述的测量静电卡盘的静电力的装置，其特征在于，所述真空腔体上设有观察窗。 

9.根据权利要求8所述的测量静电卡盘的静电力的装置，其特征在于，所述真空腔体的前端敞开并由所述观察窗封闭。