[发明专利]双洛埃镜数字全息显微测量方法

权利要求书

1.双洛埃镜数字全息显微测量方法，其特征在于，测量系统包括第一激光器、第二激光器、分束棱镜、被测物体、显微物镜、第一洛埃镜、第二洛埃镜和CCD采集相机；

第一激光器出射的第一激光与第二激光器出射的第二激光从不同方向照射在分束棱镜上，第一激光的反射光与第二激光的透射光从分束棱镜的同一面出射，照射在被测物体的同一点上，这两束光通过显微物镜放大，得到两个重合的光斑；

微小调节分束棱镜，使这两个重合光斑逐渐分开，但仍有一部分重合，重合区域照射到CCD采集相机上，通过调节被测物体的位置，使得被测物体出现在重合区域上；

第一洛埃镜和第二洛埃镜对称放在不重合的区域，调节这两个洛埃镜的位置与角度，使得第一洛埃镜将第一激光器出射的参考光照射到CCD采集相机上，第二洛埃镜将第二激光器出射的参考光照射到CCD采集相机上；

最后由CCD采集相机记录下一张复合全息图，采用双光束光学解包裹方法获得物体三维形貌。

2.根据权利要求1所述的双洛埃镜数字全息显微测量方法，其特征在于，所述获得物体三维形貌的具体过程如下：

对复合全息图进行傅里叶变换得到频谱图，然后分离出两种波长的频谱，再对其做逆傅里叶变换得到两幅单波长的全息图；

用角谱再现算法分别对两幅单波长的全息图进行再现，对再现像进行相位提取，并对提取的包裹相位进行滤波；

将两种波长的相位进行相减，对小于零的相位差加上一个2π，将其调整到[0，2π]范围；

最后根据相位与物体高度之间的关系，就可计算得到物体的三维形貌信息。

3.根据权利要求1或2所述的双洛埃镜数字全息显微测量方法，其特征在于，所述被测物体为稀疏分布在载玻片上的微小颗粒。