[发明专利]氮化硅溶液及其制备方法、多晶硅铸锭用坩埚及其制备方法有效
| 申请号： | 201310248418.X | 申请日： | 2013-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN103288357A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 张小建;刘华;王悦;杨杰;魏驰远 | 申请（专利权）人： | 天津英利新能源有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/22 | 分类号： | C03C17/22;C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 赵青朵;李玉秋 |
| 地址： | 301510 天津市滨海新区津汉公*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氮化 溶液 及其 制备 方法 多晶 铸锭 坩埚 | ||
【权利要求书】：
1.一种氮化硅溶液的制备方法，包括：
将氮化硅粉末与去离子水混合，然后加入盐酸，搅拌后得到氮化硅溶液。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述氮化硅粉末经过研磨得到，所述氮化硅粉末的平均粒径为0.1～0.5μm。
3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述氮化硅粉末与去离子水的质量比为1：（3～5）。
4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述去离子水与所述盐酸的体积比为（55～65）：1，所述盐酸的浓度为2wt%。
5.权利要求1～4任一项所制备的氮化硅溶液。
6.一种多晶硅铸锭用坩埚的制备方法，包括：
将坩埚本体进行加热，在加热后的坩埚本体内壁表面喷涂权利要求5所述的氮化硅溶液，得到多晶硅铸锭用坩埚。
7.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述喷涂的温度为70℃～80℃。
8.一种多晶硅铸锭用坩埚，其特征在于，所述坩埚内壁表面喷涂有权利要求5所述的氮化硅溶液。
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