[发明专利]阵列基板线路检测装置及检测方法

说明书

技术领域

本发明涉及线路检测技术领域，特别是涉及一种适用于阵列基板的线路检测装置及检测方法。

背景技术

薄膜晶体管液晶显示器（简称：TFT-LCD）的阵列基板经过复杂的工艺流程制造，基板上线路容易形成断路和短路现象，检测出基板上线路的断路和短路并进行维修可提高产品的良率，加快设备的检测速度和减少设备的硬件结构都可以达到提高检测效率和节约成本的目的。

TFT-LCD的阵列基板中有大量的平行配线，平行配线一般包括栅线和数据线，这类平行配线由于颗粒或金属残留等原因造成断路和短路时，现有检测方式为需要先通过线路检测传感器（英文名为Line Detect Sensor，简称LDS）进行线扫描，找出整根不良线的发生位置，如图1，以栅线1为例，在栅线1的信号输入端设置电压输入端2和与该电压输入端2连接的输入端传感器3，在栅线1的信号输出端设置输出端传感器4，该输出端传感器4与等效电阻器5连接；图2为该LDS检测装置的等效线路图，图中的箭头方向为信号传递方向，V_in为输入电压，V_out为输出电压，C₁₀为输入端传感器的电容，C₂₀为输出端传感器的电容，R₁₀为待测配线的等效电阻。LDS检测之后，需要再通过位置检测传感器（英文名为Position Detect Sensor，简称PDS）或通过自动光学检测器（英文名为Auto Optical Inspection，简称AOI）对发生不良线进行扫描找出不良线上具体的位置坐标。上述现有的检测方式工序较多，检测速度较慢，且成本较高。

发明内容

（一）要解决的技术问题

本发明要解决的技术问题是如何减少阵列基板线路检测的工序，以节约成本。

（二）技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供的一种阵列基板线路检测装置，其包括：

电压输入端；

输入端传感器，所述输入端传感器与所述电压输入端连接；

等效电阻器；

电压检测仪，所述电压检测仪与所述等效电阻器并联；

输出端传感器，所述输出端传感器至少为两个，分别与所述等效电阻器连接。

进一步地，待测配线为栅线，所述输出端传感器为三个，其中一个输出端传感器设于所述栅线的信号输出端，其余两个输出端传感器分别设于与所述栅线相邻的两个公共电极的信号输出端。

进一步地，待测配线为数据线，所述输出端传感器为两个，分别设于相邻的两根数据线的信号输出端。

本发明还提供一种基于上述的阵列基板线路检测装置的检测方法，其包括以下步骤：

将所述输入端传感器设于待测配线的信号输入端，将其中一个所述输出端传感器设于待测配线的信号输出端，其余的输出端传感器设于与待测配线相邻的配线的信号输出端；

通过电压检测仪测量所述待测配线的输出电压；

根据所测得输出电压与正常的输出电压值进行对比，来判断所述待测配线的线路导通情况。

进一步地，所述待测配线为栅线，所述输出端传感器为三个，其中一个输出端传感器设于所述栅线的信号输出端，其余两个输出端传感器分别设于与所述栅线相邻的两个公共电极的信号输出端。

进一步地，所述待测配线为数据线，所述输出端传感器为两个，分别位于相邻的两根数据线的信号输出端。

进一步地，当所述待测配线有信号输出但与正常值不一致时，则判断待测配线发生短路，根据所述电压检测仪所测量出待测配线的输出电压值计算出发生短路的位置距离坐标零点的长度。

进一步地，当所述待测配线没有信号输出时，则判断待测配线发生断路，将所述输入端传感器向所述待测配线的输出端方向移动直到输出端传感器检测到信号。

进一步地，当所述输入端传感器移动到输出端传感器检测到信号时，根据所述电压检测仪所测量出待测配线的输出电压值计算出发生断路的的位置距离坐标零点的长度。

进一步地，在完成根据所测得的所述待测配线的输出电压来判断所述待测配线的线路导通情况的步骤之后还包括以下步骤：将全部的输出端传感器垂直于待测配线的长度方向移动一个检测单元的位置，以测量下一个检测单元的线路导通情况。

（三）有益效果