[发明专利]六自由度微动台及其应用

权利要求书

1.一种六自由度微动台，其特征在于，包括：承片台、三组垂向驱动装置和三组水平向驱动装置，其中，所述三组水平向驱动装置以及三组垂向驱动装置均分别呈120度布置于所述承片台的底部，所述三组水平向驱动装置的出力沿出力方向组成一个矢量圆，所述水平向驱动装置和垂向驱动装置均采用动磁铁方式。

2.如权利要求1所述的六自由度微动台，其特征在于，所述水平向驱动装置和垂向驱动装置均采用音圈电机。

3.如权利要求1所述的六自由度微动台，其特征在于，所述六自由度微动台还包括微动顶板和微动底板，所述水平向驱动装置和垂向驱动装置分别与所述微动顶板和微动底板相连。

4.如权利要求3所述的六自由度微动台，其特征在于，所述水平向驱动装置包括：水平向驱动装置动子、水平向驱动装置定子以及水平向驱动装置定子座，所述水平向驱动装置定子座固定于所述微动底板上，所述水平向驱动装置定子通过螺钉与所述水平向驱动装置定子座固定连接，所述水平向驱动装置动子通过螺钉固定在所述微动顶板上，并且所述水平向驱动装置动子与所述水平向驱动装置定子之间存在磁隙。

5.如权利要求4所述的六自由度微动台，其特征在于，所述水平向驱动装置还包括水平向冷却进水板和水平向冷却出水板，所述水平向冷却进水板和水平向冷却出水板均固定在所述水平向驱动装置定子上。

6.如权利要求3所述的六自由度微动台，其特征在于，所述垂向驱动装置包括：垂向驱动装置动子、垂向驱动装置定子以及垂向驱动装置定子座，其中，所述垂向驱动装置动子与所述微动顶板固定连接，且所述垂向驱动装置动子与所述垂向驱动装置定子之间存在磁隙；所述垂向驱动装置定子通过螺钉与所述垂向驱动装置定子座固定连接，所述垂向驱动装置定子座通过螺钉与所述微动底板固定连接。

7.如权利要求6所述的六自由度微动台，其特征在于，所述垂向驱动装置还包括垂向冷却板和垂向锁紧螺钉，所述垂向冷却板通过所述垂向锁紧螺钉固定在所述垂向驱动装置定子座上。

8.如权利要求3所述的六自由度微动台，其特征在于，所述六自由度微动台还包括水冷分流块，所述水冷分流块设置于所述微动顶板与微动底板之间，并分别与所述水平向驱动装置和垂向驱动装置相连。

9.一种工件台，其特征在于，包括：如权利要求1～8中任一项所述的六自由度微动台，粗动台、干涉仪测量系统以及差分传感器，其中，所述干涉仪测量系统与所述六自由度微动台相连，所述粗动台通过所述差分传感器与所述六自由度微动台相连。

10.如权利要求9所述的工件台，其特征在于，所述干涉仪测量系统采用闭环传感器。