[发明专利]气阀结构及应用该气阀结构的充气座

权利要求书

1.一种气阀结构，其特征在于，至少包含有一基体、一阀体及一浮动件；

其中基体上形成有一嵌槽，嵌槽内底面中心形成有一能够连通一进气通道的气槽，且嵌槽于气槽内底面设有一第一磁性件，而阀体锁设于基体的嵌槽内，且阀体中央形成有一贯穿的贯孔，该贯孔下部形成有阶级段，浮动件滑设于阀体的贯孔内、且上端能够穿出阀体外部，该浮动件下端具有一直径大于贯孔、且小于阶级段的环抵片，浮动件中央于环抵片上方形成有一开口向上的气孔，且浮动件周缘于环抵片上方形成有至少一连通该气孔的导孔，该浮动件底面设有一对应基体的第一磁性件、且相斥的第二磁性件。

2.根据权利要求1所述的气阀结构，其特征在于，其中该阀体底面形成有一环槽，该环槽内能够嵌设一高于阀体底面的第一密封件，使阀体与形成于基体上的嵌槽间产生气密作用。

3.根据权利要求1所述的气阀结构，其特征在于，其中该阀体的贯孔的阶级段上缘形成收束状的斜锥面，而该浮动件上套设有一能够选择性封闭阀体贯孔的第二密封件，供相对浮动件的密封件产生密合作用。

4.根据权利要求3所述的气阀结构，其特征在于，其中该浮动件外缘于邻近环抵片上缘处形成有供第二密封件嵌置的限位槽。

5.一种应用权利要求1所述的气阀结构的充气座，其特征在于，该充气座供一光罩传送盒摆置，且光罩传送盒上分别设有至少一进气用的阀件及至少一排气用的阀件，其中该阀件均分别具有一能够选择性启闭的弹性浮动气门；

充气座由一基体构成，所述气阀结构的嵌槽形成于该基体上对应位置，该嵌槽的气槽间形成有一相互连通的进气通道、排气通道，且该进气通道、排气通道的出口端位于该基体的垂直壁面，进气通道、排气通道的出口端分别接设一进气接头、排气接头。

6.根据权利要求5所述的充气座，其特征在于，其中该基体的周缘角落分别设有多个定位框，定位框能够对应限制光罩传送盒的角落。

7.根据权利要求5所述的充气座，其特征在于，其中该充气座被应用于制程设备旁的进出料工作站、储存用的收纳柜、充气柜或光罩运输设备。