[发明专利]部件检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种部件检查装置。

背景技术

当前，已知一种将电子部件向基板上安装的电子部件安装装置。

电子部件安装装置利用吸附吸嘴吸附电子部件，使吸附吸嘴移动至规定的安装位置，将电子部件向基板上安装。在这里，在电子部件安装装置中搭载有部件检查装置，该部件检查装置为了在将电子部件向基板上安装前对电子部件相对于吸附吸嘴的位置偏差量进行检测，而对电子部件进行拍摄（例如，参照专利文献1）。

图18是表示部件检查装置的概略结构的说明图，（a）是正视图，（b）是侧视图。如图18所示，在部件检查装置200中具有：拍摄装置202，其从下方对由未图示的吸附吸嘴吸引的电子部件201进行拍摄；斜光照明部203（在图18（b）中省略），其从相对于电子部件201为斜下方的位置照射光；同轴照明部204，其沿与拍摄装置202的光轴正交的方向分离配置；以及光透过性镜板205，其配置在拍摄装置202的光轴上，对从同轴照明部204照射的光进行反射，向电子部件201照射。由斜光照明部203照射的光被电子部件201进行反射，经由光透过性镜板205向拍摄装置202入射。另外，由同轴照明部204照射的光被光透过性镜板205向电子部件201反射，由该电子部件201反射的光经由光透过性镜板205向拍摄装置202入射。由此，可以对被照射得较亮的电子部件201进行拍摄。

专利文献1：日本专利第3378077号公报

在这里，对透过光透过性镜板205的光路进行说明。图19从正面侧观察通过光透过性镜板205的光路的说明图，图20是从侧面侧观察通过光透过性镜板205的光路的说明图。在图中，300表示拍摄装置202的透镜，301表示拍摄装置202的拍摄元件。在图19、图20中，以点划线表示没有光透过性镜板205的情况下的光路，以实线表示有光透过性镜板205的情况下的光路。

如果如图19所示从正面侧观察，则来自电子部件201的光在没有光透过性镜板205的情况下不折射，而向透镜300入射，但在有光透过性镜板205的情况下，在通过该镜板205时折射。利用d3表示由光透过性镜板205的有无引起的光路差。另外，通过光透过性镜板205的光，通过透镜300在拍摄元件301上聚光。

另一方面，如果如图20所示从侧面侧观察，则来自电子部件201的光在没有光透过性镜板205的情况下不折射，而向透镜300入射，但在有光透过性镜板205的情况下，通过该镜板205时折射。以d1、d2表示由光透过性镜板205的有无引起的光路差。如果从侧面侧观察，则光透过性镜板205相对于光轴倾斜，因此，相对于该镜板205的入射角度不同，光路的差d1、d2也不同。并且，光路差d1、d2与上述的差d3也不同。如上述所示，由于光路差d1、d2、d3不同，所以例如如图19所示，即使在正面侧对准焦点，在侧面侧也无法在拍摄元件301上成像而造成模糊。

另外，如图21所示，在对电子部件201的位置进行调整，以在正面侧对准焦点的情况下，电子部件201的端子201a的纵向边缘在拍摄元件301上合焦，但横向边缘不合焦而模糊。另一方面，在对电子部件201的位置进行调整，以在侧面侧对准焦点的情况下，电子部件201的端子201b的横向边缘在拍摄元件301上合焦，但纵向边缘不合焦而模糊。

如上述所示，实际状况是，如果纵向边缘和横向边缘之间的合焦位置不同，则对于部件检查的精度存在极限。

发明内容

本发明的课题是，通过对纵向边缘和横向边缘之间的焦点位置偏移进行校正，从而提高部件检查的精度。

技术方案1记载的发明所涉及的部件检查装置的特征在于，具有：

同轴照明系统，其使用光透过性镜板，向对象物照射光；以及

成像透镜，其使从所述同轴照明系统照射并由所述对象物反射后的光，在拍摄元件上成像，

在所述对象物和所述拍摄元件之间，配置有焦点位置偏移校正用的光学板，

所述光透过性镜板相对于与所述成像透镜的光轴正交的平面倾斜，

所述光学板构成为，通过在以所述光轴为中心而从该光透过性镜板的倾斜位置旋转90度的位置处，相对于与所述成像透镜的所述光轴正交的所述平面，以与所述光透过性镜板相同的角度倾斜，从而使得由所述对象物反射后的光通过在光路上存在的所述光学板的距离、和通过在所述光路上存在的所述光透过性镜板的距离相等。

发明的效果

根据本发明，可以对纵向边缘和横向边缘之间的焦点位置偏移进行校正，可以提高部件检查的精度。

附图说明