[发明专利]变形镜整体式水冷散热机构

说明书

技术领域

本发明涉及变形镜领域，尤其是涉及一种变形镜整体式水冷散热机构。

背景技术

变形镜，又称变形反射镜，主要运用于各种自适应光学系统之中，作为波前校正器件校正波前误差，在自适应光学系统中起着极其重要的作用，是自适应光学系统中的重要部件之一，变形镜的研究和发展关系到整个自适应光学系统的校正能力和校正精度。

但现在使用的变形镜机构也有其设计局限性，当所要处理的激光对其工作面进行照射时，变形镜的致动元件就会被少部分的残余激光照射而迅速升温，使基座连同各配件产生膨胀甚至使致动元件受损失效。甚至微小的温度波动也会影响变形镜面的形变量。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明的一个目的在于提出一种可保证镜体的形变量不受温度浮动的影响的变形镜整体式水冷散热机构。

根据本发明实施例的变形镜整体式水冷散热机构，包括：热沉，所述热沉内设有用于盛放冷却液且顶部敞开的盛放槽，所述热沉上设有与所述盛放槽连通的进水口和出水口，所述热沉上设有多个镜腿，每个所述镜腿在竖直方向穿设在所述热沉上；镜体，所述镜体设在所述热沉的顶部以封闭所述盛放槽，且所述镜体的下表面与每个所述镜腿的上表面相连；致动元件，所述致动元件上设有多个致动腿，所述多个致动腿分别与所述多个镜腿的下表面连接以通过控制每个所述致动腿的致动量控制所述镜体的形变量；两个水接头，所述两个水接头分别与所述进水口和所述出水口连通。

根据本发明实施例的变形镜整体式水冷散热机构，通过设有热沉，穿过镜体的激光的热量会被热沉中的冷却液吸收，且热传导效率高，避免了致动元件被该穿过镜体的激光照射而影响致动元件的工作性能，从而该变形镜整体式水冷散热机构中的镜体的形变量不受温度浮动的影响，提高了变形镜的稳定性，且该变形镜整体式水冷散热机构结构简单。

另外，根据本发明的变形镜整体式水冷散热机构还具有如下附加技术特征：

根据本发明的一些实施例，所述镜体的下表面上设有多个连接腿，多个所述连接腿分别与多个所述镜腿相连。从而便于镜体与多个镜腿装配。

进一步地，变形镜整体式水冷散热机构还包括多个连接头，每个所述连接头分别设在所述连接腿的下表面和所述镜腿的上表面之间。从而进一步便于镜体装配在热沉上。

在本发明的一些实施例中，变形镜整体式水冷散热机构还包括固定框，所述固定框设在所述热沉上，且所述固定框的一部分的下表面与所述镜体的上表面接触。从而通过设有固定框可提高镜体与热沉之间的密封性，避免盛放槽内冷却液的泄露。

进一步地，所述热沉上设有定位孔，所述固定框上设有与所述定位孔配合的定位凸起。从而便于固定框固定在热沉上。

根据本发明的一些实施例，所述盛放槽形成为从所述热沉的上表面向下凹入的方形凹槽。从而可增加冷却液的储存量，提高变形镜整体式水冷散热机构的散热性，进一步保证变形镜不受温度浮动的影响。

进一步地，所述热沉的上表面的环绕且临近所述盛放槽的一部分向下凹入形成为方形装配孔，所述镜体装配在所述方形装配孔内。从而进一步便于镜体装配在热沉上。

优选地，所述镜体的上表面与所述热沉的上表面平齐。

可选地，所述热沉为金属件。从而有利于热的传导。

在本发明的一些实施例中，每个所述水接头包括：第一筒体，所述第一筒体装配在相应的所述进水口或所述出水口上；第二筒体，所述第二筒体从所述第一筒体的一端向外延伸，所述第二筒体的内径小于所述第一筒体的内径；环形凸起，所述环形凸起设在所述第二筒体的邻近所述第一筒体的一端上。从而可提高水接头与相应的进水口或出水口之间的密封性。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1为根据本发明实施例的变形镜整体式水冷散热机构的示意图；

图2为图1所示的变形镜整体式水冷散热机构的内部示意图；

图3为图1所示的变形镜整体式水冷散热机构的分解示意图；

图4为根据本发明实施例的变形镜整体式水冷散热机构中的热沉的示意图。

附图标记：

变形镜整体式水冷散热机构100、热沉1、盛放槽10、进水口11、

出水口12、镜腿13、定位孔14、方形装配孔15、镜体2、致动元件3、