[发明专利]用于作动显示器的方法和装置无效
| 申请号： | 201310236936.X | 申请日： | 2006-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN103345058A | 公开（公告）日： | 2013-10-09 |
| 发明（设计）人： | N·W·哈古德;J·L·斯泰恩 | 申请（专利权）人： | 皮克斯特隆尼斯有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/02 | 分类号： | G02B26/02;G09G3/34 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 吴晓辉 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 显示器 方法 装置 | ||
1.一种微电子机械装置，包括：
一个第一部件，所述第一部件限定一个平面；以及
一个梁，所述梁包括悬挂在所述第一部件上方的至少一个非晶硅层，其中所述梁的垂直于所限定平面的尺度至少是所述梁在所限定的平面内的尺度的1.4倍。
2.如权利要求1所述的装置，其中所述梁包括至少一个由除非晶硅以外的其他材料组成的附加层。
3.如权利要求1所述的装置，还包括一个第二部件，所述第二部件相对于所述第一部件可移动，其中所述第二部件至少部分地被所述梁悬挂在所述第一部件的上方。
4.如权利要求1所述的装置，其中所述装置是显示组件的一部分。
5.如权利要求1所述的装置，其中所述第二部件是一个机械快门。
6.如权利要求1所述的装置，包括一个作动器，所述作动器包括所述梁。
7.如权利要求6所述的装置，其中所述梁是一个快门机构的一部分。
8.如权利要求1所述的装置，其中所述非晶硅层是导电的。
9.如权利要求1所述的装置，其中所述非晶硅层是非导电的。
10.如权利要求2所述的装置，其中所述至少一个附加层包括弹性材料。
11.如权利要求2所述的装置，其中所述至少一个附加层包括导电材料。
12.如权利要求2所述的装置，其中所述至少一个附加层包括不透明的材料。
13.如权利要求2所述的装置，其中所述至少一个附加层包括介电体材料。
14.如权利要求2所述的装置，其中所述至少一个附加层是抗静磨擦力材料。
15.如权利要求2所述的装置，其中所述梁在所限定的平面内的尺度在0.2μm至10μm之间。
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