[发明专利]一种光束能量回收利用的方法及系统

权利要求书

1.一种光束能量回收利用的方法，其特征在于：

（1）、对于高能量反射率的样品，即反射型样品的光束能量回收利用的方法，具体包括以下步骤：

a、泵浦光光束照射到聚焦透镜上，然后第一次穿过聚焦透镜的光束会聚到样品表面的辐照点，其中大部分光能量被样品表面反射；

b、样品表面反射的光束第二次穿过聚焦透镜，然后经过泵浦光反射装置反射；

c、由泵浦光反射装置反射的光束第三次照射到聚焦透镜上，然后穿过聚焦透镜的光束再次会聚到样品表面的辐照点，与第一次经过聚焦透镜会聚到样品表面上的辐照点重合，并再次被样品表面反射并第四次穿过聚焦透镜，依次重复上述步骤，光束不停地在样品和泵浦光反射装置之间反射传输，直至反射光束的能量不足以引起样品上辐照点的光束辐照强度为止；

（2）、对于高能量透射率的样品，即透射型样品的光束能量回收利用的方法，具体包括以下步骤：

a、泵浦光光束照射到前聚焦透镜上，然后第一次穿过前聚焦透镜的光束会聚到样品前表面的辐照点，其中大部分激光能量从样品后表面透射；

b、透射出的光束第一次经过后聚焦透镜，经过后聚焦透镜的激光光束经后泵浦光反射装置反射；

c、由后泵浦光反射装置反射的光束第二次经过后聚焦透镜，然后穿过后聚焦透镜的光束从样品后表面入射到样品前表面的辐照点；

d、从样品前表面出射的光束第二次经过前聚焦透镜，然后经前泵浦光反射装置反射；

e、前泵浦光反射装置反射的光束第三次经过前聚焦透镜并会聚到样品前表面的处理点，依次重复以上步骤，光束不停地在前泵浦光反射装置和后泵浦光反射装置之间对样品进行辐照处理，直至反射光束的能量不足以引起样品上辐照点的光束辐照强度为止。

2.一种光束能量回收利用的系统，其特征在于：包括有相对样品表面设置泵浦光反射装置和设置于泵浦光反射装置和样品之间的聚焦透镜。

3.根据权利要求2所述的一种光束能量回收利用的系统，其特征在于：所述的反射装置为一组，围成一圈排列，其轴心与聚焦透镜的圆心重合。

4.根据权利要求2所述的一种光束能量回收利用的系统，其特征在于：所述的反射装置包括有相对透射型样品或反射型样品前表面设置的前泵浦光反射装置和相对透射型样品后表面设置的后泵浦光反射装置，所述的聚焦透镜包括有设置于透射型样品和前泵浦光反射装置之间、或反射型样品和前泵浦光反射装置之间的前聚集透镜和设置于透射型样品和后泵浦光反射装置之间的后聚集透镜。