[发明专利]一种不锈钢工件低温低压离子渗氮方法及其装置

权利要求书

1.一种不锈钢工件低温低压离子渗氮方法；其特征在于，具体操作步骤是：

步骤1、工件表面的预处理；所述工件的表面预处理包括对工件表面的机械预处理、工件表面除油和超声清洗；

步骤2、渗氮处理；将工件放置在试样平台上，通过辅助阴极钛板将工件完全覆盖；将阴极辅助钛板悬挂于真空室内且与工件表面有10～30mm间距；将辅助阴极钛板与直流电源的负极连接；将渗氮真空室的气压抽至低于5Pa后，通入流量为20sccm的Ar气和流量为80sccm的N2气并保持气体流量恒定至渗氮处理结束；调节渗氮真空室气压至10～60Pa并保持恒定至渗氮处理结束；

渗氮开始后，调节直流电源电压参数至200～400V，脉冲电源电压参数至500～800V，脉冲频率至10KHz，脉冲电源占空比至20%～100%并保持至渗氮处理结束；当渗氮工件的渗氮温度由室温升至300～500℃开始保温，保温时间为6～48h，对工件进行渗氮；得到低温低压离子渗氮处理的不锈钢工件。

2.一种用于权利要求1所述不锈钢工件低温低压离子渗氮方法的装置，其特征在于，包括绝缘挂杆、渗氮真空室、阴极辅助钛板、直流电源、试样平台和脉冲电源；其中，绝缘挂杆、阴极辅助钛板和试样平台均位于渗氮真空室内，并且试样平台安装在渗氮真空室位于底座的通孔上，一端伸出所述渗氮真空室底座；所述试样平台与渗氮真空室的底座之间绝缘密封；绝缘挂杆安装在渗氮真空室的顶板上，阴极辅助钛板安装在绝缘挂杆的下端；所述阴极辅助钛板与试样平台的位置相互对应；在渗氮真空室底座上有进气孔和抽气孔。

3.入权利要求2所述一种用于不锈钢工件低温低压离子渗氮的装置，所述绝缘挂杆的上端和下端均有挂孔，该挂孔的中心线垂直于所述绝缘挂杆的中心线。