[发明专利]基于环状叉指电极的压电微型能量采集器及其制备方法无效
| 申请号： | 201310232093.6 | 申请日： | 2013-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN103346694A | 公开（公告）日： | 2013-10-09 |
| 发明（设计）人： | 杨斌;王兴昭;刘景全;朱红英;杨春生 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | H02N2/18 | 分类号： | H02N2/18 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 牛山;陈少凌 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 环状 电极 压电 微型 能量 采集 及其 制备 方法 | ||
1.一种基于环状叉指电极的压电微型能量采集器，其特征在于，包括由下至上的衬底层、绝缘层、键合层、压电层和上电极层；所述衬底层刻蚀留有质量块形状，所述上电极层为环状叉指结构。
2.根据权利要求1所述的基于环状叉指电极的压电微型能量采集器，其特征在于，所述上电极层为导电非金属、金属或金属化合物。
3.根据权利要求2所述的基于环状叉指电极的压电微型能量采集器，其特征在于，所述上电极层为Au、Pt、Cu或石墨烯。
4.根据权利要求1所述的基于环状叉指电极的压电微型能量采集器，其特征在于，所述衬底层为硅衬底、玻璃衬底或SOI衬底。
5.根据权利要求1所述的基于环状叉指电极的压电微型能量采集器，其特征在于，所述绝缘层为二氧化硅、氮化硅或聚合物层。
6.根据权利要求5所述的基于环状叉指电极的压电微型能量采集器，其特征在于，所述聚合物层为parylene层、PDMS层或PI层。
7.根据权利要求1所述的基于环状叉指电极的压电微型能量采集器，其特征在于，所述压电层为PZT、BCT-BZT或PVDF压电膜层。
8.一种根据权利要求1所述的基于环状叉指电极的压电微型能量采集器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤A、通过DRIE或湿法进行衬底层背面的通孔刻蚀，在衬底层上沉积绝缘层；
步骤B、通过键合的方法使得所述绝缘层与压电层粘接；
步骤C、在所述压电层上制作环状结构的上电极层。
9.根据权利要求8所述的基于环状叉指电极的压电微型能量采集器的制备方法，其特征在于，步骤C中，所述制作环状结构的上电极层具体为：将上电极层原料通过溅射或蒸发工艺生成在压电层上，图形化处理后，通过化学刻蚀或干法刻蚀工艺形成所述上电极层。
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