[发明专利]一种真空镀膜设备的门体结构

说明书

本发明涉及一种镀膜设备的门体结构，其特征在于：包括真空室门体和真空室门盖，真空室门体与真空室腔体密封连接构成密封式具有筒状结构的真空室；在真空室腔体外表面设有真空室腔体盖，通过真空室门盖和真空室腔体盖将真空室整体围合，形成真空室围蔽结构；在真空窒门体的立面上设有一个或多个观察窗，在观察窗上面安装有摄像装置；在真空室门盖的立面上，安装有显示屏，供视频监控和工艺监控使用。本发明使用整体外盖围蔽结构，相当于形成双层门体结构，使真空室腔体和真空室门体的立面方便布置及隐藏管线，整体外观整齐、简洁，通过观察窗，进行实时监控和记录真空室内部的工作状况，实现自动监控的目的，并具有通用性好，使用率高、使用方便和成本较低的显著有益效果。

技术领域

本发明涉及真空镀膜设备，特别涉及一种用于真空镀膜设备的门体结构。属于真空设备技术领域。

技术背景

现有技术中，真空镀膜设备由于在镀膜过程中工件处于密闭的真空环境中，观察其工作过程一般是采用在真空室上，设置一个或多个观察窗，操作者透过所述观察窗，进行人工观察和记录真空室内温度及工件镀膜的状况，这种方法存在人为误差和劳动强度大、效率低，只能观察不能记录的等缺陷。另外，真空镀膜设备的真空室其外围部件和管线较多，影响设备整体美观。

发明内容

本发明要解决的技术问题，即本发明的目的，一是为了克服现有镀膜设备需要人工观察镀膜过程，存在人为误差、劳动强度大和效率低的缺陷，二是克服现有镀膜设备的真空室其外围部件和管线较多，影响设备整体美观的缺陷，提供一种真空镀膜设备的门体结构。

本发明的目的可以通过采取以下技术方案达到：

一种镀膜设备的门体结构，其结构特点在于，包括真空室门体和真空室门盖，真空室门体与真空室腔体密封连接构成密封式具有筒状结构的真空室；在真空室腔体外表面设有真空室腔体盖，通过真空室门盖和真空室腔体盖将真空室整体围合，形成真空室围蔽结构；在真空窒门体的立面上设有一个或多个观察窗，在观察窗上面安装有摄像装置；在真空室门盖的立面上，安装有显示屏，供视频监控和工艺监控使用。

本发明的目的还可以通过采取以下技术方案达到：

进一步地，在观察窗上可以设有红外测温装置，以记录真空室内温度及工件的镀膜状况。

进一步地，在真空室门盖的内侧面中可设有线槽盒等装置，使镀膜设备真空室外的布线整齐、简洁。

本发明具有如下突出的有益效果：

1、本发明由于使用整体外盖围蔽结构，相当于形成双层门体结构，使真空室腔体和真空室门体的立面更方便布置及隐藏管线，整体外观整齐、简洁，因此克服现有技术的多功能镀膜设备存在线路布置散乱，影响美观的缺陷。

2、本发明涉及的真空室门体可以设置一个或多个观察窗，通过观察窗，可以安装红外测温装置和摄像装置，进行实时监控和记录真空室内部的工作状况，实现自动监控的目的。

3、本发明由于真空室门盖的立面设置显示屏，通过显示屏，可以进行视频监控和工艺监控。本发明具有通用性好，使用率高、使用方便和成本较低的显著有益效果。

附图说明

图1是本发明具体实施例1的结构示意图。

图2是本发明具体实施例1的外形结构示意图。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本发明作进一步详细描述。

具体实施例1：