[发明专利]石英坩埚及其制作方法、P型硅铸锭及其制作方法有效
申请号: | 201310226104.X | 申请日: | 2013-06-07 |
公开(公告)号: | CN103274583A | 公开(公告)日: | 2013-09-04 |
发明(设计)人: | 潘家明 | 申请(专利权)人: | 英利能源(中国)有限公司 |
主分类号: | C03B20/00 | 分类号: | C03B20/00;C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 吴贵明;张永明 |
地址: | 071051 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石英 坩埚 及其 制作方法 铸锭 | ||
1.一种石英坩埚的制作方法,所述制作方法包括将坩埚原料依次经过注浆、脱模、干燥、烧结的处理过程,得到所述石英坩埚,其特征在于,所述坩埚原料包括高纯无机镓盐与高纯石英砂,其中所述坩埚原料中镓与所述高纯石英砂的重量比为3.7~370g:1000kg。
2.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述高纯无机镓盐为氧化镓、砷化镓或磷化镓。
3.根据权利要求2所述的制作方法,其特征在于,所述高纯无机镓盐的粒度小于0.1mm;所述高纯石英砂的粒度小于0.1mm。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的制作方法,其特征在于,所述制作方法在注浆之前还包括:
对所述高纯石英砂进行球磨、均化处理;
将所述均化处理后的高纯石英砂、所述高纯无机镓盐和去离子水混合,得到所述坩埚原料。
5.一种石英坩埚,其特征在于,所述石英坩埚由所述权利要求1至4中任一项所述的制作方法制作而成,所述石英坩埚包括重量含量为0.296g~29.6g/100kg的镓。
6.根据权利要求5所述的石英坩埚,其特征在于,所述石英坩埚包括重量含量为10g~20g/100kg的镓。
7.一种P型多晶硅铸锭的制备方法,所述制备方法包括将硅料、硼料在石英坩埚中进行铸锭过程,其特征在于,所述石英坩埚为权利要求5或6所述的石英坩埚。
8.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于,所述硼料为硼硅母合金。
9.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于,所述铸锭过程包括:
将所述硅料和所述硼料在1500~1580℃下加热10~20h熔化;
将所述石英坩埚的底部进行冷却。
10.一种P型多晶硅铸锭,其特征在于,所述P型多晶硅铸锭由权利要求7至9中任一项所述的制备方法制备而成。
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