[发明专利]圆形托盘上的排布衬底收容槽的方法及圆形托盘

说明书

技术领域

本发明属于化学气相沉积领域。更具体地讲，是涉及一种圆形托盘上的排布衬底收容槽的方法及圆形托盘。

背景技术

在现有技术中，化学气相沉积设备中的大尺寸的圆形托盘(通常为石墨盘并且直径≥30mm)上排布有若干个衬底收容槽，每个衬底收容槽上放置一个衬底。为了使得排布于圆形托盘上的衬底收容槽排布最紧密，衬底收容槽的排布方式为蜂窝状排布。然而，这样的衬底收容槽的排布方式，在圆形托盘边缘区域的衬底收容槽的排布非常不均匀，例如在圆形托盘的边缘区域，一些区域设置有衬底收容槽，而另外一些区域没有设置衬底收容槽，导致衬底收容槽在一些区域密集，而在另外一些区域比较稀疏。

由于在圆形托盘的边缘区域的温度对环境条件的敏感度要比在圆形托盘的圆心区域高的多，因此，当圆形托盘的边缘区域的衬底收容槽排布不均匀时，圆形托盘的边缘区域的温度的均匀性将会受到极大的影响，不利于沉积材料在衬底上的沉积。

发明内容

为了解决上述现有技术存在的问题，本发明的目的在于提供一种圆形托盘上的排布衬底收容槽的方法，用以将若干个衬底收容槽排布于圆形托盘之上，所述排布衬底收容槽的方法包括：在圆形托盘的边缘排布外圈的衬底收容槽；使得该外圈的衬底收容槽的中心处于圆形托盘的同心圆周上并在该同心圆周上均匀分布，而且该外圈的衬底收容槽中的两相邻衬底收容槽之间的间距小于该外圈的衬底收容槽中的任一衬底收容槽的直径；在所述外圈的衬底收容槽以内排布衬底收容槽。

进一步地，在所述外圈的衬底收容槽中，两相邻衬底收容槽之间的间距小于该外圈的衬底收容槽中的任一衬底收容槽的直径的1/10。

进一步地，在所述外圈的衬底收容槽与所述圆形托盘的边缘之间的区域不足以设置衬底收容槽。

进一步地，在所述外圈的衬底收容槽以内排布衬底收容槽包括：在所述外圈的衬底收容槽以内以蜂窝状形式排布衬底收容槽。

进一步地，在所述外圈的衬底收容槽以内排布衬底收容槽包括：在所述外圈的衬底收容槽以内将衬底收容槽分为若干内圈的衬底收容槽，其中，每一内圈的衬底收容槽的中心在圆形托盘的同心圆周上均匀分布。

进一步地，所述外圈的衬底收容槽的直径小于所述外圈的衬底收容槽以内的衬底收容槽的直径。

本发明的另一目的还在于提供一种圆形托盘，该圆形托盘上排布有若干个衬底收容槽，每个衬底收容槽上可设有一个衬底，所述圆形托盘的边缘排布有外圈的衬底收容槽，所述外圈的衬底收容槽的中心处于圆形托盘的同心圆周上并在该同心圆周上均匀分布，而且该外圈的衬底收容槽中的两相邻衬底收容槽之间的间距小于该外圈的衬底收容槽中的任一衬底收容槽的直径。

进一步地，所述外圈的衬底收容槽中的两相邻衬底收容槽之间的间距小于该外圈的衬底收容槽中的任一衬底收容槽的直径的1/10。

进一步地，所述外圈的衬底收容槽与所述圆形托盘的边缘之间的区域不足以设置衬底收容槽。

进一步地，所述外圈的衬底收容槽以内的衬底收容槽呈蜂窝状排布。

进一步地，所述外圈的衬底收容槽以内的衬底收容槽排列成为若干内圈的衬底收容槽，其中，每一内圈的衬底收容槽的中心在圆形托盘的同心圆周上均匀分布。并且，当距离圆形托盘圆心最近的内圈的衬底收容槽以内的区域只能排布一个衬底收容槽时，可不排布衬底收容槽。

进一步地，所述外圈的衬底收容槽的直径小于所述外圈的衬底收容槽以内的衬底收容槽的直径。

本发明的圆形托盘上的排布衬底收容槽的方法及圆形托盘，圆形托盘的边缘的衬底收容槽排布均匀，使得在加热过程中，圆形托盘的边缘的衬底收容槽的受热均匀性得到提高，进而使得圆形托盘整体受热均匀性得到提高。另外，由于在进行化学气相沉积工艺时，旋转的圆形托盘的圆心处的气流场不均匀，将会使得置于衬底收容槽的衬底沉积材料不均匀，容易形成次品，因此在圆形托盘的中心不排布衬底收容槽，避免浪费衬底。

附图说明

图1为根据本发明的实施例1的排布有衬底收容槽的圆形托盘的示意图。

图2为根据本发明的实施例2的排布有衬底收容槽的圆形托盘的示意图。

图3为根据本发明的实施例3的排布有衬底收容槽的圆形托盘的示意图。

图4为根据本发明的实施例4的排布有衬底收容槽的圆形托盘的示意图。

具体实施方式