[发明专利]一种X射线衍射仪薄膜测试样品台有效
申请号: | 201310223577.4 | 申请日: | 2013-06-03 |
公开(公告)号: | CN103293173A | 公开(公告)日: | 2013-09-11 |
发明(设计)人: | 张东平;李岩;范平;梁广兴;郑壮豪;罗景庭 | 申请(专利权)人: | 深圳大学 |
主分类号: | G01N23/20 | 分类号: | G01N23/20 |
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地址: | 518060 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 射线 衍射 薄膜 测试 样品 | ||
技术领域
本发明与X射线衍射仪样品测量相关,特别是薄膜样品的测量相关,既可以作为薄膜样品的测量,也可以作为其他粉末样品的测量。
技术背景
X射线衍射测量是鉴定材料物相结构的重要手段。当X射线以掠角θ入射到某一点阵晶格的晶面上时,在符合布拉格方程的条件下,将在反射方向上得到因叠加而加强的衍射线。从每一θ角符合布拉格方程条件的反射面得到反射,测出θ后,即可确定材料的点阵晶面间距、晶胞大小和类型等,根据衍射线的强度,还可进一步确定晶胞内原子的排布。材料在进行X射线衍射测量中,为了测量的准确性,通常要求样品必须放在仪器特定的平面位置内。现在主流的X射线衍射仪(如布鲁克、理学等)中,对粉末样品,样品台使用的是在表面带有浅坑的玻璃片,将粉末放入浅坑中压平,并且要求与玻璃表面在同一水平面内,然后将玻璃样品台插入仪器相应位置,以保证测量的精度。然而对不同基底厚度的薄膜样品,通常则需要根据样品的厚度专门制作样品架,以保证膜面在样品台平面内,才可以保证测量准确性。由此可见,这样针对特定样品制作的样品台不具有通用性,不但给测量带来诸多不便,且对不同样品定制不同的样品架也是一种浪费。本发明旨在设计一种通用性强的X射线衍射仪测试样品台。
发明内容
本发明要解决的是X射线衍射测量中样品台通用性差的问题,提供一种新型X射线衍射仪薄膜样品测试台,对粉末样品也具有较好的适用性。
本发明的技术方案如下:
一种用于X射线衍射仪的薄膜样品测试台,其特征是由固定支架、三根弹簧、样品架、调节螺丝四部分组成。所述的固定支架为直角“Z”字形,下方平板中央开有螺丝孔和三个弹簧联接拉钩孔,样品架也同样有三个弹簧拉钩孔,样品架通过三根弹簧与固定支架下平板联接,调节螺丝穿过固定支架下平面中央螺丝孔与样品架底面接触,通过调节螺丝可以自由调节样品架的高度,使样品表面与固定支架上平板表面水平。
本发明的技术效果:
1、本发明采用调节螺丝自由调节样品架高度,适合不同衬底厚度薄膜样品的测量,不需要根据不同的薄膜样品厚度加工不同的样品架,不但提高了测量效率,同时也避免重复加工样品台带来的浪费;
2、本发明适用性强,不但适合薄膜样品的测量,同时也适用粉末样品的测量;
3、本发明样品架表面可以增加吸盘,防止样品的滑落;
4、本发明样品架可以是加热板或制冷片,实现样品的变温测量。
附图说明
图1固定支架的示意图
图2样品架示意图
图3X射线衍射仪薄膜样品测试台整体示意图
图4X射线衍射仪薄膜样品测试台侧视图
具体实施方式
参阅图3,先加工一个直角“Z”字形固定支架(1),在下平板(3)中央开螺丝孔(4),并在以螺丝孔(4)为圆心的圆周上等间距开三个弹簧拉钩孔(5),在平板型样品架(6)与固定支架下平板(3)对应位置也开三个弹簧拉钩孔(5),三根相同的弹簧(7),通过弹簧拉钩孔(5)联接在固定支架(1)和样品台(6)上,调节螺丝(8)穿过固定支架(1)下平板上的螺丝孔(4),与样品台(6)底面接触,通过拧调节螺丝(8),顶样品台(6)平板移动到合适位置,使样品(9)表面与固定支架(1)上表面在同一水平面。最后将样品测试台的固定支架(1)的上平板(2)端插入X射线衍射仪相对应位置即可以进行相关测量。
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