[发明专利]基于双FBG悬挂式探头结构的超精密微位移传感系统及加工方法

权利要求书

1.基于双FBG悬挂式探头结构的超精密微位移传感系统，其特征是探头采用不锈钢针管为保护套，所述保护套内沿其轴向平行设置两根FBG光纤测杆，所述两根光纤测杆一端与保护套固定，另一端悬空以进行测量；其中一根光纤为测量光纤，测量光纤的测杆端部具有伸出保护套外的测球，另一根光纤测杆为补偿光纤，包覆在保护套，其端部经熔烧加工形成封闭端。

2.根据权利要求1所述的基于双FBG悬挂式探头结构的超精密微位移传感系统，其特征是所述测球通过电火花熔烧光纤测杆端部而成，所述测球与测量光纤测杆为一体化结构。

3.根据权利要求2所述的基于双FBG悬挂式探头结构的超精密微位移传感系统，其特征在于，所述测球直径小于250um。

4.一种权利要求1所述的测量光纤的加工方法：其特征是，所述测量光纤的测杆端部测球通过电火花熔烧而成，所述电火花熔烧是指对测杆端部通过放电方式进行熔烧，所述放电次数为2次，两次放电部位呈中心对称，所述每次放电电流为6mA，放电时间T为3000ms。