[发明专利]一种便携式可调节H型光路平行校准装置有效
申请号: | 201310221279.1 | 申请日: | 2013-06-05 |
公开(公告)号: | CN103278933A | 公开(公告)日: | 2013-09-04 |
发明(设计)人: | 杨盈莹;林学春;赵伟芳;王文婷;伊肖静;张玲;于海娟 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | G02B27/30 | 分类号: | G02B27/30;G01S7/481 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 宋焰琴 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 便携式 调节 型光路 平行 校准 装置 | ||
1.一种便携式可调节H型光路平行校准装置,包括:
装置主体支架,用于固定和连接第一孔径光阑、第一平面反射镜与孔径光阑组合结构、第二孔径光阑,以及第二平面反射镜与孔径光阑组合结构;
第一待校准平行光路,其用于发射观察光束;
第一孔径光阑,其用于限制观察光束的光束口径;
第一平面反射镜与孔径光阑组合结构,其用于确定经第一孔径光阑的观察光束的传播路径,使其传播至第二平面反射镜与孔径光阑组合结构;
第二平面反射镜与孔径光阑组合结构,其用于确定从第一平面反射镜与孔径光阑组合结构传播过来的观察光束传播路径,使其进入第二孔径光阑;
第二孔径光阑,其用于限制从第二平面反射镜与孔径光阑组合结构传播过来的观察光束的光束口径;
第二待校准平行光路,其用于接收经第二孔径光阑的观察光束。
2.根据权利要求1所述的便携式可调节H型光路平行校准装置,其特征在于,所述的装置主体支架呈H型,有两个等长的臂,且长度可精密调节;两臂互相平行,且两臂中心相连且间距长度可精密调节。
3.根据权利要求1所述的便携式可调节H型光路平行校准装置,其特征在于,所述的装置主体支架的两个臂的末端依次连接有:第一孔径光阑、第一平面反射镜与孔径光阑组合结构、第二平面反射镜与孔径光阑组合结构、第二孔径光阑。
4.根据权利要求2所述的便携式可调节H型光路平行校准装置,其特征在于,所述的装置主体支架,其两个臂长可调范围为1cm-10m,其间距可调范围为0.1cm-10m。
5.根据权利要求1所述的便携式可调节H型光路平行校准装置,其特征在于,第一孔径光阑、第一平面反射镜与孔径光阑组合结构中的孔径光阑、第二孔径光阑、及第二平面反射镜与孔径光阑组合结构中的孔径光阑,这四个孔径光阑的孔径相同。
6.根据权利要求1所述的便携式可调节H型光路平行校准装置,其特征在于,第一孔径光阑、第一平面反射镜与孔径光阑组合结构中的孔径光阑、第二孔径光阑、及第二平面反射镜与孔径光阑组合结构中的孔径光阑,这四个孔径光阑的孔径可调节,且调节范围为0.01mm-5cm。
7.根据权利要求1所述的便携式可调节H型光路平行校准装置,其特征在于,通过调整装置主体支架,使得第一待校准平行光路发射的观察光束依次经过第一孔径光阑、第一平面反射镜与孔径光阑组合结构、第二孔径光阑、第二平面反射镜与孔径光阑组合结构后,完全进入到第二待校准平行光路,以便第一待校准平行光路与第二待校准平行光路平行。
8.根据权利要求1所述的便携式可调节H型光路平行调试检测装置,其特征在于,所述第一平面反射镜与孔径光阑组合结构包括孔径光阑和第一平面反射镜,所述第一平面反射镜与孔径光阑组合结构的孔径光阑与所述第一孔径光阑共同限制观察光束的光束口径,所述第一平面反射镜位于所述第一平面反射镜与孔径光阑组合结构的孔径光阑后方一定距离处呈45度角,其反射穿过所述第一孔径光阑和所述第一平面反射镜与孔径光阑组合结构的孔径光阑的观察光束。
9.根据权利要求1所述的便携式可调节H型光路平行调试检测装置,其特征在于,所述第二平面反射镜与孔径光阑组合结构包括孔径光阑和第二平面反射镜,所述第二平面反射镜与孔径光阑组合结构的孔径光阑与所述第二孔径光阑共同限制从所述第一平面反射镜与孔径光阑组合结构传播过来的观察光束的光束口径,所述第二平面反射镜位于所述第二平面反射镜与孔径光阑组合结构的孔径光阑前方一定距离处呈45度角,其接收并反射从所述第一平面反射镜与孔径光阑组合结构传播过来的观察光束,使其穿过所述第二平面反射镜与孔径光阑组合结构的孔径光阑。
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