[发明专利]YE区域扫描机台的派工方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体生产自动化控制技术领域，尤其涉及一种YE（Yield Enhancement，良率提升）区域扫描机台的派工方法。

背景技术

在目前半导体代工生产中，自动化设备已经非常的普遍，生产工艺设备已经能够进行自动传片，制程加工，数据记录，自动判断生产晶片是否符合制程等自动化生产。但是对于代工生产中，由于产品类型复杂多样，技术工艺各不相同，所以需要对安排上机台的产品的生产次序进行安排，目前行业里主要的方式是通过操作人员根据数据统计的方式来安排生产。

中国发明专利（公开号：CN1499570）公开了一种半导体制程派工控制方法以及制造半导体组件的方法，其实施于一电脑及一运送系统，用以决定复数晶圆产品中那一种能送进制造系统，首先由该电脑取得每一种晶圆产品的相对产量及等待时间限制，接着并计算每一晶圆产品的多制程加工需求时间以及每一晶圆产品的总等待时间限制，该电脑并根据该加工需求时间以及总等待时间限制的比较结果，决定那一种晶圆产品可被送入该制造系统，当一晶圆产品的多制程加工需求时间小于总等待时间限制，批次晶圆可被送入制造系统中处理或者在即定的机台中进一步处理该晶圆产品，再由该运送系统依据该派工结果，将该选定的晶圆产品运送至该制造系统。

中国发明专利申请（公开号：CN101996359A）公开了一种半导体制造过程的派工方法，包括：判断在制品中是否包括最大允许等待时间小于设定值的在制品；若该在制品中包括最大允许等待时间小于设定值的在制品，且制造系统正在运行次要产品或所述在制品中包括触发产品，则首先派工最大允许等待时间小于设定值的在制品，之后派工最大允许等待时间不小于设定值的次要产品，最后派工最大允许等待时间不小于设定值的主要产品。该发明根据设备的运行状况、在制品的最大允许等待时间、等待时间、优先级、片数以及过货时间等因素灵活地实现派工控制，既保证了在制品的品质，又充分利用了光刻设备的产能。

上述两专利均公开了半导体制造过程中的派工方法，但并未涉及到YE区域扫描机台的派工方法，在生产区域中YE区域的扫描机台主要担负着整个生产区域的制程机台的良率监控，YE区域根据一定的比率监控所有生产制程机台的缺陷状况，YE工程师一般情况下，会通过修改产品抽样率来控制待扫描的产品，并且需要超过扫描机台的产能，达到尽可能高的扫描机台利用率；在所有等待扫描监控的产品中还分为很多问题类型，如：制程机台监控的抽样产品；发现问题机台有产品缺陷的产品加片扫描；需要重点监控机台的来货扫描；整个生产区域需要优先优先出货的产品；机台保养后，第一批的确认产品；工程师做试验的晶片扫描等等；以上种种类型尽管都需要进行扫描，但由于YE区域扫描机台的扫描能力有限，所以目前是由YE工程师负责来选择重要程度较高的产品来扫描，这样往往会遗漏存在缺陷的产品，无法及时查出生产缺陷产品的机台存在的问题。

发明内容

针对上述存在的问题，本发明公开一种YE区域扫描机台的派工方法，通过设定YE区域扫描机台的派工规则，保证生产过程正常有序，达到优先生产的产品能够及时的通过YE区域，有异常需要处理并澄清问题的产品或机台能够及时的得到扫描的结果。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种YE区域扫描机台的派工方法，其应用于一设有设定单元、输入排序单元、检查计算单元和显示输出单元的主机以及一派工系统上，其中，包括如下步骤：步骤1，由设定单元设定派工规则，对不同类别货品的排序进行定义；步骤2，对在YE区域等待扫描的每一批次货品进行归类，由输入排序单元接收归类信息后按照派工规则进行扫描排序；步骤3，由检查计算单元对扫描排序后的货品进行检查计算，以得到最终扫描排序；步骤4，由显示输出单元显示并向派工系统输出最终扫描排序，由派工系统按照最终扫描排序对相应的YE区域扫描机台进行自动派工。

上述的YE区域扫描机台的派工方法，其中，在步骤1中，还包括定义每台YE区域扫描机台扫描最适合扫描的货品类别。

上述的YE区域扫描机台的派工方法，其中，在步骤1中，由设定单元设定派工规则，对不同类别货品的排序进行定义，不同类别货品的先后次序为：允许等待时间限定货品，第一允许等待剩余时间限定货品，关键货品，第一优先级货品，试生产货品，缺陷确认货品，第二优先级货品，关键机台货品，存在缺陷货品，缺陷超过控制标准货品，第二允许等待剩余时间限定货品，YE工程试验货品，一般优先级货品/其他区域工程师试验货品，潜在问题货品以及工程师试验货品/破片流程货品。