[发明专利]一种一维位移精密测量方法

权利要求书

1.一种一维位移精密测量方法，其特征在于：在一绝缘基板上制备发射电极，发射电极为一组宽度一致的矩形电极，相邻电极间距与矩形电极宽度一致，奇数电极与偶数电极分别通过两组相互独立的互联母线连接；在另一绝缘基板上制备接收电极，单个接收电极与单个发射电极宽度一致，接收电极由多对并联而成，每一对接收电极由两个紧密相邻的接收电极构成，它们之间保持电气绝缘，接收电极对与对之间的间距为两倍电极宽度，对与对之间通过两组相互独立的互联母线连接；进行位移测量时，将发射电极绝缘基板安装在固定参照物上，将接收电极绝缘基板安装在移动物体上，保持发射电极与接收电极平行，发射电极与接收电极之间有一微小空气间隙，用一频率、幅值稳定的高频正弦电压源激励发射电极的奇数电极互联母线，用同样频率和幅值、相位相反的高频正弦电压源激励发射电极的偶数电极互联母线，将接收电极的两个互联母线分别连接至信号检测电路，通过判断接收电极两路输出高频电压信号的幅值以及相位的相对关系计算得出被测量物体相对固定参照物的位移、运动速度以及运动方向。

2.根据权利要求1所述的一维位移精密测量方法，其特征在于：任意接收电极在发射电极上方横向移动时，接收电极耦合的高频正弦交流电压信号，其幅值连续变化，相位在0度与180度之间交替变换。

3.根据权利要求1或2所述的一维位移精密测量方法，其特征在于：任意接收电极连续横向移动四倍发射电极宽度时，其输出高频正弦交流电压信号的幅值与相位完成一个变化周期。

4.根据权利要求1或2所述的一维位移精密测量方法，其特征在于：每个接收电极对中相邻两个接收电极输出的两路高频电压信号，其幅值和相位变化相差四分之一个变化周期。

5.根据权利要求1所述的一维位移精密测量方法，其特征在于：在绝缘基板另一表面制备屏蔽层，屏蔽层完整覆盖上表面的全部电极。

6.根据权利要求1或2所述的一维位移精密测量方法，其特征在于：保持发射电极排列方向与待测量一维位移方向平行，发射电极及其间距的累计总宽度超过待测量位移最大行程。