[发明专利]研磨液分配臂

权利要求书

1.一种研磨液分配臂，位于研磨台面正上方，其特征在于，包括：第一机械臂、第二机械臂和控制模块，第一机械臂与第二机械臂的一端连接，第二机械臂的另外一端设置有研磨液输出口，所述控制模块通过控制所述第一机械臂摆动、所述第二机械臂摆动，以实现研磨液输出口研磨液喷洒方向的控制。

2.根据权利要求1所述的研磨液分配臂，其特征在于，所述第一机械臂和第二机械臂内部设有贯通的研磨液管道，通过所述研磨液管道将研磨液输送到所述研磨液输出口。

3.根据权利要求1所述的研磨液分配臂，其特征在于，第一机械臂一端设置有第一轴承，另外一端通过第二轴承与第二机械臂的一端连接，第二机械臂的另外一端设置有研磨液输出口。

4.根据权利要求3所述的研磨液分配臂，其特征在于，所述控制模块通过控制所述第一机械臂围绕所述第一轴承摆动、所述第二机械臂围绕所述第二轴承摆动，以实现研磨液喷洒方向的控制。

5.根据权利要求1所述的研磨液分配臂，其特征在于，所述控制模块包括伺服单元和传动单元。

6.根据权利要求5所述的研磨液分配臂，其特征在于，所述伺服单元包括分别针对所述第一机械臂和所述第二机械臂的两个独立伺服单元，传动单元包括使所述第二机械臂随所述第一机械臂从动的传动单元。

7.根据权利要求5或6所述的研磨液分配臂，其特征在于，所述传动单元为皮带，所述伺服单元为马达。

8.根据权利要求6所述的研磨液分配臂，其特征在于，在所述第一机械臂的同一端上下不同的端面上分别设置一伺服单元。