[发明专利]混合的嵌段共聚物组合物

权利要求书

1.一种嵌段共聚物组合物，所述嵌段共聚物组合物包括：

二嵌段共聚物混合物，所述二嵌段共聚物混合物包括：

第一聚(甲基丙烯酸甲酯)-b-聚(甲基丙烯酸(三甲基甲硅烷基)甲酯)二嵌段共聚物(“DB1”)，其具有10-1000kg/mol的DB1数均分子量，M_N-DB1；1-3的DB1多分散性，PD_DB1；和，

第二聚(甲基丙烯酸甲酯)-b-聚(甲基丙烯酸(三甲基甲硅烷基)甲酯)二嵌段共聚物(“DB2”)，其具有1-1000kg/mol的DB2数均分子量，M_N-DB2；1-3的DB2多分散性，PD_DB2。

2.权利要求1的嵌段共聚物组合物，其中在二嵌段共聚物混合物中的DB1与DB2的重量比为1∶1-1∶9。

3.权利要求1的嵌段共聚物组合物，

其中二嵌段共聚物混合物表现出混合聚(甲基丙烯酸甲酯)重量分数，Wf_PMMA-Blend，为选自0.69至0.83、0.39至＜0.69和0.23至＜0.39组成的组；和，

其中该二嵌段共聚物混合物表现出10-1000kg/mol的混合数均分子量，M_N-Blend。

4.权利要求1的嵌段共聚物组合物，其中二嵌段共聚物混合物为≥33wt％至99wt％的DB1和1至≤50wt％的DB2。

5.权利要求1的嵌段共聚物组合物，进一步包含溶剂；其中溶剂选自丙二醇单甲醚醋酸酯(PGMEA)，乙氧基乙基丙酸酯，苯甲醚，乳酸乙酯，2-庚酮，环己酮，醋酸戊酯，γ-丁内酯(GBL)，N-甲基吡咯烷酮(NMP)和甲苯。

6.权利要求1的嵌段共聚物组合物，进一步包含添加剂；其中添加剂选自附加的聚合物(包括均聚物和无规共聚物)；表面活性剂；抗氧化剂；光酸产生剂；热酸产生剂；猝灭剂；硬化剂；粘结促进剂；溶解速率改性剂；光固化剂；光敏剂；酸放大剂；增塑剂；取向控制剂；和交联剂。

7.权利要求1的嵌段共聚物组合物，进一步包含聚(甲基丙烯酸甲酯)均聚物。

8.权利要求7的嵌段共聚物组合物，其中聚(甲基丙烯酸甲酯)均聚物(“HPMMA”)与二嵌段共聚物混合物的重量比为1∶19-3∶7。

9.权利要求8的嵌段共聚物组合物，其中用PMMA与二嵌段共聚物混合物的重量比为1∶9-1∶4；其中DB1与DB2的重量比为1∶1-1∶2.5；其中DB1中的聚(甲基丙烯酸甲酯)重量分数，Wf_PMMA-DB1为0.7-0.75；其中M_N-DB1为20-60kg/mol；其中PD_DB1为1-1.2；其中DB2中的聚(甲基丙烯酸甲酯)重量分数，Wf_PMMA-DB2为0.7-0.75；其中M_N-DB2为20-60kg/mol；其中PD_DB2为1-1.2。

10.一种方法，所述方法包含：

提供基材；

提供依据权利要求1的嵌段共聚物组合物；

应用该嵌段共聚物组合物至基材上形成薄膜；

任选地，烘烤薄膜；

退火该薄膜；

处理该退火了的薄膜以从该退火了的薄膜上除去聚(甲基丙烯酸甲酯)和将该退火了的薄膜上的甲基丙烯酸(三甲基甲硅烷基)甲酯转换成SiO_x。