[发明专利]用于浸没式光刻机的多级负压回收密封和气密封装置

权利要求书

1.一种用于浸没式光刻机的多级负压回收密封和气密封装置，在浸没式光刻机中的投影物镜组(1)和硅片(3)之间设置有多级负压回收密封和气密封装置(2)；其特征在于：所述多级负压回收密封和气密封装置(2)包括浸没单元下端盖(2A)和浸没单元上端盖(2B)；其中：

1) 浸没单元下端盖(2A)：

在浸没单元下端盖(2A)中心开有下小上大的90°锥形通孔，沿浸没单元下端盖(2A)的90°锥形通孔向外，在浸没单元下端盖(2A)的上端面上开有一个环状的下端盖液体主回收腔(4C)，下端盖液体主回收腔(4C)内开有沿圆周方向均匀分布的下端盖液体主回收孔阵列(4A)，下端盖液体主回收腔(4C)向外在浸没单元下端盖(2A)的上端面上开有下端盖液体二级回收腔(5C)，在下端盖液体二级回收腔(5C)内部开有沿圆周方向均匀分布的下端盖液体二级回收孔阵列(5A)，下端盖液体二级回收腔(5C)向外开有下端盖液体三级回收腔(6C)，在下端盖液体三级回收腔(6C)内部开有沿圆周方向均匀分布的下端盖液体三级回收孔阵列(6A)，下端盖液体三级回收腔(6C)向外开有下端盖注气腔 (7C)，在下端盖注气腔(7C)内部开有沿圆周方向均匀分布的下端盖注气孔阵列(7A)，向下在浸没单元下端盖(2A)的下端面上开有气体压力均布腔(7D)，气体压力均布腔(7D)向上与下端盖注气孔阵列(7A)相连通；

2) 浸没单元上端盖(2B)：

在浸没单元上端盖(2B) 中心开有下小上大的90°锥形通孔，沿浸没单元上端盖(2B)的90°锥形通孔向外，在浸没单元上端盖(2B)的下端面上开有一个环状的上端盖注液腔(3C)，上端盖注液腔(3C)向外在浸没单元上端盖(2B)的下端面上开有两个对称的上端盖注液槽(3B)，并与上端盖注液腔(3C)连通，上端盖注液槽(3B)向外在浸没单元上端盖(2B)的下端面上开有上端盖第一密封沟槽(8B)，上端盖第一密封沟槽(8B)向外在浸没单元上端盖(2B)的下端面上开有两个上端盖主回收槽(4B)，上端盖主回收槽(4B)向外在浸没单元上端盖(2B)的下端面上开有上端盖第二密封沟槽(9B)，上端盖第二密封沟槽(9B)向外在浸没单元上端盖(2B)的下端面上开有两个上端盖二级回收槽(5B)，上端盖二级回收槽(5B)向外在浸没单元上端盖(2B)的下端面上开有上端盖第三密封沟槽(10B)，上端盖第三密封沟槽(10B)向外在浸没单元上端盖(2B)的下端面上开有两个上端盖三级回收槽(6B)，上端盖三级回收槽(6B)向外在浸没单元上端盖(2B)的下端面上开有上端盖第四密封沟槽(11B)，上端盖第四密封沟槽(11B)向外在浸没单元上端盖(2B)的下端面上开有两个上端盖注气槽(7B)；上端盖第一密封沟槽(8B)、上端盖第二密封沟槽(9B)、上端盖第三密封沟槽(10B)和上端盖第四密封沟槽(11B)内分别放置密封圈；

在浸没单元上端盖(2B)的一外侧开有第一上端盖注液管道(3E)、第一上端盖主回收管道(4E)、第一上端盖二级回收管道(5E)、第一上端盖三级回收管道(6E)、第一上端盖注气管道(7E)，在浸没单元上端盖(2B)的另一外侧开有第二上端盖注液管道(3F)、第二上端盖主回收管道(4F)、第二上端盖二级回收管道(5F)、第二上端盖三级回收管道(6F)、第二上端盖注气管道(7F)；两个上端盖主回收槽(3B)分别与第一上端盖注液管道(3E)和第二上端盖注液管道(3F)连通；两个上端盖主回收槽(4B)分别与第一上端盖主回收管道(4E)和第二上端盖主回收管道(4F)连通；两个上端盖二级回收槽(5B)分别与第一上端盖二级回收管道(5E)和第二上端盖二级回收管道(5F)连通；两个上端盖三级回收槽(6B)分别与第一上端盖三级回收管道(6E)和第二上端盖三级回收管道(6F)连通；两个上端盖注气槽(7B)分别与第一上端盖注气管道(7E)和第二上端盖注气管道(7F)连通；第一上端盖注液管道(3E)、第一上端盖主回收管道(4E)、第一上端盖二级回收管道(5E)、第一上端盖三级回收管道(6E)、第一上端盖注气管道(7E)和第二上端盖注液管道(3F)、第二上端盖主回收管道(4F)、第二上端盖二级回收管道(5F)、第二上端盖三级回收管道(6F)、第二上端盖注气管道(7F)用于连接外部管道，将浸没流体从浸没单元内部引入和引出；

所述的浸没单元下端盖(2A)和浸没单元上端盖(2B)的接触面均为环形平面，并通过螺钉紧固连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于浸没式光刻机的多级负压回收密封和气密封装置，其特征在于：所述的上端盖注液腔(3C)与浸没单元下端盖(2A)的90°锥形通孔相连通，下端盖液体主回收腔(4C)向上与两个上端盖主回收槽(4B)相连通，下端盖液体二级回收腔(5C)向上与两个上端盖二级回收槽(5B)相连通，下端盖液体三级回收腔(6C)向上与两个上端盖三级回收槽(6B)相连通，下端盖注气腔(7C)向上与两个上端盖注气槽(7B)相连通。