[发明专利]蓝宝石衬底用去蜡清洗剂

说明书

技术领域

本发明涉及一种蓝宝石衬底用去蜡清洗剂的制备方法。

背景技术

蓝宝石单晶(Sapphire)，又称白宝石，透明，与天然宝石具有相同的光学特性、力学性能及化学性能，有着很好的热特性，极好的电气特性和介电特性，并且防化学腐蚀，对红外线透过率高，有很好的耐磨性，硬度仅次于金刚石，达莫氏9级，在高温下仍具有较好的稳定性，熔点为2030℃，所以被广泛应用于工业、国防、科研等领域，如光电子、通讯、GaN发光二极管(LED)衬底、军工导弹弹头外壳、精密仪器仪表、航天工业的红外透光材料、激光器的窗口及反射镜、半导体硅的外延基片及绝缘存底等。

目前蓝宝石衬底是最为普遍的一种衬底材料，但由于蓝宝石在生产过程中往往有一些杂质附着在蓝宝石表面上，需要对蓝宝石进行清洗才能得到合格产品。目前蓝宝石衬底用去蜡清洗剂主要有溶剂型、半水型和水基型三大类，前两类对清洗的污染物有限制、对人体有害、对环境影响较大、易燃、废液难处理等问题；且目前多数蓝宝石衬底用去蜡清洗剂存在如下缺点：清洗时间较长，一般需要10-20分钟，清洗效果不理想，即清洗后的蓝宝石表面会出现残留物，对蓝宝石表面腐蚀较严重，造成清洗良品率降低。

发明内容

本发明的目的在于：提供一种水基、可降解、环保型且清洗效果好、清洗效率高的蓝宝石衬底用去蜡清洗剂，使用该清洗剂只需进行一次清洗，即可达到清洗要求，提高了清洗效率，降低生产成本，经济环境友好。

为了达到上述目的，本发明含有5-15％重量的烷基糖苷表面活性剂，5-20％的其它表面活性剂，3-5％重量的助溶剂，3-5％重量的金属络合物，0.5-1％的重量的悬浮剂，0.01-1％重量的水质软化剂或抗硬水剂和10-20％重量的蓝宝石衬底腐蚀剂和适量的纯水；本发明的蓝宝石衬底用去蜡清洗剂为水基环保型清洗剂，清洗后清洗剂15天内可自行降解；且清洗效率高，只需进行一次清洗即可达到清洗要求，提高了生产效率，加入了缓蚀剂保证清洗过程中清洗剂不会对蓝宝石表面造成严重腐蚀。

蓝宝石衬底用去蜡清洗剂中的烷基糖苷表面活性剂优选淀粉糖苷表面活性剂，该表面活性剂具有生物降解速度快而彻底、无毒、对环境无污染，且与其它表面活性剂相比，更不易受温度变化的影响。与其它表面活性剂复配使用，效果更好，可减少表面活性剂的用量。

蓝宝石衬底用去蜡清洗剂中的其它表面活性剂一般选用阴离子表面活性剂和非离子表面活性剂，可以列举的有：十二烷基苯磺酸钠、椰油脂肪酸单乙醇酰胺、脂肪烷基醇聚氧乙烯(7)醚、脂肪醇聚氧乙烯(9)醚、脂肪醇聚氧乙烯(15)醚、脂肪醇聚氧乙烯(20)醚、脂肪酸烷醇酰胺、脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠、烷基酚聚氧乙烯(9)醚、烷基酚聚氧乙烯(10)醚、烷基酚聚氧乙烯(15)醚、烷基酚聚氧乙烯(21)醚、油酸三乙醇胺、聚氧乙烯聚氧丙烯醚、聚氧乙烯脂肪醇醚、硫酸化蓖麻油、烷基磺酸钠、烷基苯磺酸钠、烷基硫酸酯钠、仲烷基磺酸钠、仲烷基硫酸酯钠、a一烯基磺酸钠、烷基萘磺酸钠、琥珀酸烷基酯磺酸钠、脂肪醇聚氧乙烯醚、烷基酚聚氧乙烯醚、琥珀酸二异辛酯磺酸钠、N，N-二甲基十二烷基胺丙基磺酸内铵盐等，该表面活性剂与烷基糖苷表面活性剂复配使用，能达到更好地清洗效果，且可降低表面活性剂的用量。

蓝宝石衬底用去蜡清洗剂中的助溶剂是促进清洗剂中的各组分更好的互溶在一起，一般选用尿素、乙酸乙酯、乙二醇丁醚或其混合物。

蓝宝石衬底用去蜡清洗剂中的金属络合物具有很强的螯合能力，可以有效的螯合水中微量的多价金属离子，如钙、镁、铅、锌、镍、铁、铜和锰，一般选用乙二胺四乙酸二钠、柠檬酸钠、乙二胺四乙酸、氮川三乙酸和氮川三乙酸钠等。

蓝宝石衬底用去蜡清洗剂中的悬浮剂的作用是使蓝宝石表面机器细小的颗粒，如碳化硅、硅粉等，稳定的悬浮在水中，避免清洗过程中再次吸附在蓝宝石表面，造成二次污染，所以本清洗剂只需清洗一次即可到达清洗要求，一般选用马来酸-丙烯酸共聚物、羧甲基纤维素钠或其组合。

蓝宝石衬底用去蜡清洗剂中的水质软化剂或者抗硬水剂为水玻璃、聚氧乙烯醚硫酸盐、月桂酸二乙醇酰胺一种或两种的混合物，这些物质具有很好的软化水质的能力，稳定体系。

蓝宝石衬底用去蜡清洗剂中的蓝宝石衬底腐蚀剂一般选用氢氧化钠、氢氧化钾或碳酸钠，这些腐蚀剂可与蓝宝石反应形成溶于水的硅酸盐，可很好的去除蓝宝石衬底的切割损坏层，而同时不会对蓝宝石表面造成严重的腐蚀。

具体实施方式

为能进一步了解本发明的内容、特点及功效，兹例举以下实施例，详细说明如下：