[发明专利]一种CCD器件量子效率校准装置及校准方法

权利要求书

1.一种CCD器件量子效率校准装置，其特征在于，包括：光源、单色仪、积分球、监测探测器、光纤光谱仪、数据采集系统、精密位移台、CCD器件驱动电路和控制系统；

所述光源和单色仪的数量分别为四套，单色仪输出口经过光收集器聚焦放大后汇聚到光纤束，从对称的四个方向注入到所述积分球中；

所述光纤光谱仪通过光收集器在积分球输出口获得输出光的波长；

所述精密位移台调整被测CCD器件光敏面平行处于所述积分球的出光孔中心处；

所述数据采集系统采集一帧或多帧被测CCD器件输出信号，扣除死像元或过热像元，计算所有有效像元输出信号的平均值作为CCD器件输出信号；

所述监测探测器在积分球输出口获得积分球的光功率分布；

所述控制系统按一定的步进改变单色仪输出波长，测试出下一波长点的CCD器件量子效率，以波长为横坐标，量子效率为纵坐标，绘制出被测CCD器件量子效率随波长的变化曲线。

2.如权利要求1所述的CCD器件量子效率校准装置，其特征在于，所述光源为500W的氙灯。

3.如权利要求1所述的CCD器件量子效率校准装置，其特征在于，所述积分球直径为50cm，输出口直径为12cm。

4.如权利要求1所述的CCD器件量子效率校准装置，其特征在于，所述光纤束为大芯径光纤束。

5.一种CCD器件量子效率校准方法，适用于权利要求1至4任一项所述的CCD器件量子效率校准装置，其特征在于，包括以下步骤：采用四套单色光源和四套单色仪输出单色光，经过光收集器聚焦放大后汇聚到光纤束，从对称的四个方向注入到积分球中；光纤光谱仪通过光收集器在积分球输出口获得输出光的波长；精密位移台调整被测CCD器件光敏面平行处于所述积分球的出光孔中心处；数据采集系统采集一帧或多帧被测CCD器件输出信号，扣除死像元或过热像元，计算所有有效像元输出信号的平均值作为CCD器件输出信号；所述监测探测器在积分球输出口获得积分球的光功率分布；所述控制系统按一定的步进改变单色仪输出波长，测试出下一波长点的CCD器件量子效率，以波长为横坐标，量子效率为纵坐标，绘制出被测CCD器件量子效率随波长的变化曲线。