[发明专利]一种膜片钳气压控制装置及方法

权利要求书

1.一种膜片钳气压控制装置，其特征在于，包括直线驱动机构、注射器、第一电磁阀和第二电磁阀；直线驱动机构连接注射器的推杆，注射器的注射筒底部通过气管分别与两电磁阀的输入端连通；第一电磁阀的输出端置于常压，第二电磁阀的输出端连接用于膜片钳封接的电极夹持器的通气管。

2.如权利要求1所述的气压控制装置，其特征在于，所述直线驱动机构包括舵机、摆动杆和连杆，舵机的输出轴连接摆动杆的一端，摆动的另一端表面开有滑槽；连杆的一端连接螺钉，螺钉置于滑槽内且可在滑槽内滑动，连杆的另一端连接注射器的推杆。

3.利用权利要求1或2所述的气压控制装置对膜片钳封接过程进行气压控制的方法，具体为：

控制第一电磁阀关闭和第二电磁阀打开，直线驱动机构驱动注射器的推杆在注射筒内推进，使得电极夹持器内腔产生正压；

控制第一电磁阀关闭和第二电磁阀打开，注射器的推杆在注射筒内保持不动，使得电极夹持器内腔产生常压；

控制第一电磁阀关闭和第二电磁阀打开，注射器的推杆在注射筒内后退，使得电极夹持器内腔产生负压。