[发明专利]分体式气体喷淋组件及金属有机化学气相沉积装置

权利要求书

1.一种金属有机化学气相沉积装置，包括反应腔，设置于所述反应腔外的手套箱和大气-特气缓冲室，位于所述反应腔顶部的气体喷淋组件以及与所述气体喷淋组件相对设置的基座，所述基座可以相对所述气体喷淋组件旋转，所述气体喷淋组件包括第一进气管路、第二进气管路、气体分配单元和若干板部件，所述第一、第二进气管路分别用于将第一气体和第二气体传输至所述气体分配单元，所述气体分配单元具有排气面，其特征在于，所述气体分配单元为一体成型的单层结构，所述气体分配单元包括A型气体分配腔和B型气体分配腔，所述A型气体分配腔和B型气体分配腔间隔设置，分别用于分配所述第一气体和第二气体，所述气体分配单元下部安装有所述板部件，所述板部件包括A型板部件和B型板部件，所述A型板部件与所述A型气体分配腔相对设置，所述B型板部件与所述B型气体分配腔相对设置，所述A型板部件和B型板部件具有排气孔，分别用于排出所述第一气体和第二气体，所述A形板部件和B形板部件相互拼接，并将所述气体分配单元与所述基座隔开。

2.如权利要求1所述的金属有机化学气相沉积装置，其特征在于，所述气体分配单元具有垂直于所述基座的上表面的间隔板，用以将所述A型气体分配腔和B型气体分配腔隔开，所述间隔板上设置有凹槽，所述A型、B型板部件与所述间隔板平行的两侧面均设置有与所述凹槽配合的扣齿部，用以安装所述A型、B型板部件。

3.如权利要求2所述的金属有机化学气相沉积装置，其特征在于，所述间隔板面向所述A型气体分配腔的一侧设置有第一凹槽，所述间隔板面向所述B型气体分配腔的一侧设置有第二凹槽，所述第一凹槽和第二凹槽分别用于安装所述A型板部件和B型板部件，所述第一凹槽和第二凹槽沿垂直于所述基座的上表面的方向相互错开。

4.如权利要求2所述的金属有机化学气相沉积装置，其特征在于，所述A型板部件与所述间隔板平行的两个侧面还设置有凹槽，所述B型板部件与所述间隔板平行的两个侧面设置有与所述A型板部件的所述凹槽配合的扣齿部，用以将所述B型板部件安装于与其相邻的两个所述A型板部件上。

5.如权利要求2所述的金属有机化学气相沉积装置，其特征在于，所述板部件在平行于所述基座上表面的截面上具有末端，所述末端靠近所述气体分配单元的边缘，所述板部件在所述末端的两侧分别具有压合部和配合部，所述压合部与其相邻的所述配合部相互配合，用以防止所述板部件沿所述气体分配单元的径向产生位移，所述板部件中至少有一条用锁定方式固定在所述气体分配单元上。

6.如权利要求5所述的金属有机化学气相沉积装置，其特征在于，所述压合部为所述末端的右侧的突出部，所述突出部向右侧的相邻的所述板部件延伸，所述配合部为所述末端的左侧的缺口部，所述突出部与其右侧的相邻的所述缺口部相互配合，用以防止所述板部件沿所述气体分配单元的径向产生位移，所述板部件中至少有一条用螺丝锁定在所述气体分配单元上。

7.如权利要求6所述的金属有机化学气相沉积装置，其特征在于，所述气体分配单元靠近所述基座的面在其边缘处设置有嵌套部，用以将所述板部件更加牢固的固定在所述气体分配单元在。

8.如权利要求7所述的金属有机化学气相沉积装置，其特征在于，所述嵌套部为一与所述板部件的所述末端接触的圆环，所述圆环的圆心为所述气体分配单元的中心。

9.如权利要求8所述的金属有机化学气相沉积装置，所述气体喷淋组件还包括设置在其中心的连接板部件，所述连接板部件与所述A型、B型板部件靠近所述气体分配单元中心的一端相连接，用以更加牢固的安装所述A型、B型板部件。

10.如权利要求8所述的金属有机化学气相沉积装置，其特征在于，所述气体分配单元远离基座的面具有圆形凹部，所述圆形凹部与所述第一进气管路连通，用以传输所述第一气体至所述A型气体分配腔。

11.如权利要求9所述的金属有机化学气相沉积装置，其特征在于，所述气体分配单元的中心有一环形槽道，所述环形槽道与所述B型气体分配腔连通，且与所述第二进气管路连通，用以传输所述第二气体至所述B型气体分配腔。

12.如权利1所述的金属有机化学气相沉积装置，其特征在于，所述气体分配单元与所述A型、B型板部件的材质包括下列材质中的一种或多种：石墨、不锈钢、铝、氮化铝、碳化硅、钼、氮化硼、碳化硼、钨。