[发明专利]一种柔性薄膜温差电池及其制作方法有效
| 申请号： | 201310197291.3 | 申请日： | 2013-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN103325935A | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | 范平;郑壮豪;梁广兴;陈天宝;蔡兆坤;张东平;罗景庭 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | H01L35/32 | 分类号： | H01L35/32;H01L35/34 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所 44268 | 代理人： | 刘文求;杨宏 |
| 地址： | 518060 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 薄膜 温差 电池 及其 制作方法 | ||
1.一种柔性薄膜温差电池的制作方法，其特征在于，
A、对第一、第二柔性绝缘基片进行清洗；
B、在第一柔性绝缘基片上溅射镀制P型热电薄膜，在第二柔性绝缘基片上溅射镀制N型热电薄膜；
C、分别在镀制好P型热电薄膜和N型热电薄膜一端的膜层上镀制作为引出电极的金属导电薄膜层；在对应的另外一端，同时在P型热电薄膜、N型热电薄膜层侧面和第一、第二柔性绝缘基片侧面镀制金属连接电极薄膜层；
D、将镀制有P型热电薄膜的第一柔性绝缘基片和镀制有N型热电薄膜的第二柔性绝缘基片的背面进行粘合，将两端的金属连接电极薄膜层进行连接形成PN结薄膜层。
2.如权利要求1所述的柔性薄膜温差电池的制作方法，其特征在于，所述第一柔性绝缘基片和第二柔性绝缘基片的厚度为0.01mm~10mm，可弯曲90度以上。
3.如权利要求1所述的柔性薄膜温差电池的制作方法，其特征在于，所述P型热电薄膜和N型热电薄膜的厚度为10nm-100μm。
4.如权利要求1所述的柔性薄膜温差电池的制作方法，其特征在于，所述引出电极的金属导电薄膜层的厚度为10nm-10μm。
5.如权利要求1所述的柔性薄膜温差电池的制作方法，其特征在于，所述PN结薄膜层厚度为10nm-10μm。
6.如权利要求1所述的柔性薄膜温差电池的制作方法，其特征在于，所述第一、第二柔性绝缘基片侧面的金属连接电极薄膜层上通过金属薄膜沉积实现连接形成PN结薄膜层或者通过激光焊接金属连接电极薄膜层实现连接形成PN结薄膜层。
7.如权利要求6所述的柔性薄膜温差电池的制作方法，其特征在于，当第一、第二柔性绝缘基片侧面的金属连接电极薄膜层通过金属薄膜沉积实现连接形成PN结薄膜层时，所形成金属薄膜沉积层厚度为10 nm以上。
8.一种柔性薄膜温差电池，其特征在于，所述柔性薄膜温差电池是利用如权利要求1所述的柔性薄膜温差电池的制作方法制成。
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