[发明专利]柔性导电电极及其制备方法

权利要求书

1.一种柔性导电电极，其特征在于，包括依次层叠的不锈钢衬底、平整层及导电层，所述平整层的材料为二氧化锆，所述导电层的材料为铝、银、镁、金、铂或镍。

2.根据权利要求1所述的柔性导电电极，其特征在于，所述不锈钢衬底的厚度为0.05mm～0.2mm。

3.根据权利要求1所述的柔性导电电极，其特征在于，所述平整层的厚度为2μm～20μm。

4.根据权利要求1所述的柔性导电电极，其特征在于，所述导电层的厚度为50nm～500nm。

5.一种柔性导电电极的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

将不锈钢衬底浸入锆的前驱体溶液中，以5cm/min～20cm/min的速度提拉不锈钢衬底，使不锈钢衬底表面吸附锆的前驱体溶液，其中，锆的前驱体溶液中含有锆的醇盐、溶剂及稳定剂；

将表面吸附有锆的前驱体溶液的不锈钢衬底先在25℃～80℃干燥，之后在含有氧气的气氛下以10℃/min～20℃/min的速度加热至600℃～1000℃，保温1小时～5小时，在不锈钢衬底表面形成由二氧化锆组成的平整层；及

在真空镀膜系统中，在所述平整层表面制备导电层，所述导电层的材料为铝、银、镁、金、铂或镍。

6.根据权利要求5所述的柔性导电电极的制备方法，其特征在于，所述锆的前驱体溶液由以下步骤制备：

将稳定剂加入溶剂中形成混合液，所述溶剂包括烷基醇及水，所述烷基醇与所述水的体积比为0.8:1～1:1；及

将锆的醇盐滴加到所述混合液中，并不断搅拌形成所述锆的前驱体溶液。

7.根据权利要求5所述的柔性导电电极的制备方法，其特征在于，所述锆的醇盐、溶剂及稳定剂的体积比为1：（5～10）：（5～20）。

8.根据权利要求5所述的柔性导电电极的制备方法，其特征在于：所述锆的醇盐的通式为Zr(O-R)₄，其中，O为氧键，R为碳原子数为2～5的烷基。

9.根据权利要求5所述的柔性导电电极的制备方法，其特征在于：所述稳定剂为乙酰丙酮。

10.根据权利要求6所述的柔性导电电极的制备方法，其特征在于：所述锆的醇盐的滴加速度为2ml/min～5ml/min。