[发明专利]一种多晶硅铸锭炉系统无效
| 申请号： | 201310195846.0 | 申请日： | 2013-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN103243386A | 公开（公告）日： | 2013-08-14 |
| 发明（设计）人： | 屈涛;李宗懋;王丙宽;魏文秀;胡洁 | 申请（专利权）人： | 天津英利新能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B28/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 魏晓波 |
| 地址： | 301510 天津市滨海新区津汉公*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 铸锭 系统 | ||
1.一种多晶硅铸锭炉系统，包括铸锭炉(1)，所述铸锭炉(1)的炉腔中设有坩埚(4)，所述坩埚(4)和所述铸锭炉(1)的炉壁之间还设置有隔热笼(2)，所述隔热笼(2)内还设置有围绕所述坩埚(4)的加热器(3)，其特征在于，所述坩埚(4)的内侧壁与所述铸锭炉(1)的内侧壁之间的间距处处相等。
2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉系统，其特征在于，所述加热器(3)的内侧壁与所述坩埚(4)的内侧壁之间的间距处处相等。
3.根据权利要求2所述的多晶硅铸锭炉系统，其特征在于，所述隔热笼(2)的内侧壁与所述坩埚(4)的内侧壁的之间的间距处处相等。
4.根据权利要求1至3任一项所述的多晶硅铸锭炉系统，其特征在于，所述铸锭炉(1)的内侧壁围成圆柱状，所述坩埚(4)的内腔也呈圆柱状。
5.根据权利要求4所述的多晶硅铸锭炉系统，其特征在于，所述加热器(3)包括若干上下排列的柱状加热部件，各所述柱状加热部件共同围成圆柱状。
6.根据权利要求4所述的多晶硅铸锭炉系统，其特征在于，所述加热器(3)的侧壁沿其周向分为至少两部分，各部分之间通过石墨螺钉连接。
7.根据权利要求4所述的多晶硅铸锭炉系统，其特征在于，所述隔热笼(2)的侧壁沿周向分为至少两部分，各部分之间密封连接。
8.根据权利要求4所述的多晶硅铸锭炉系统，其特征在于，还包括控制所述隔热笼(2)的侧壁上下升降的升降系统。
9.根据权利要求4所述的多晶硅铸锭炉系统，其特征在于，还包括位于所述隔热笼(2)的底壁和坩埚之(4)间的石墨定向助凝块，所述坩埚(4)置于所述石墨定向助凝块上。
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