[发明专利]一种电阻炉单晶制备中所需的钼坩埚无效

专利信息
申请号: 201310193227.8 申请日: 2013-05-23
公开(公告)号: CN103320850A 公开(公告)日: 2013-09-25
发明(设计)人: 侯玉国 申请(专利权)人: 单县晶瑞光电有限公司
主分类号: C30B15/10 分类号: C30B15/10
代理公司: 济南泉城专利商标事务所 37218 代理人: 张贵宾
地址: 274300 山东*** 国省代码: 山东;37
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 电阻炉 制备 坩埚
【说明书】:

(一)        技术领域

    本发明属于晶体制造领域,特别涉及一种电阻炉单晶制备中所需的钼坩埚。

(二)        背景技术

晶体制备中,所用单晶炉都会使用坩埚,常用的一种是铱金坩埚,价格昂贵,目前高达30万元人民币每公斤;而另一种是钼坩埚,价格较低。

由于新材料的发展,晶体材料在激光技术中广泛应用于工业生产、军事、通信、生物制药、医疗卫生等方面,一种是中频感应单晶炉生长方法,使用坩埚是铱金坩埚,设备、坩埚总投资每台高达300万人民币,每个坩埚重8公斤,价值240万元人民币,而采用钼坩埚电阻炉生产晶体,价格不到中频感应单晶炉的25%,但缺点是每次生产用一个钼坩埚,一年正常一套设备需用60-100个坩埚,增加了生产成本,造成了资源的浪费。

(三)        发明内容

    本发明为了弥补现有技术的不足,提供了一种结构简单、使用价值高的电阻炉单晶制备中所需的钼坩埚。

本发明是通过如下技术方案实现的:

一种电阻炉单晶制备中所需的钼坩埚,包括两个钼坩埚,其特征在于:所述两钼坩埚的外层均喷涂有氧化锆涂层,两个钼坩埚大小配合、上下套装在一起。

本发明在坩埚外设置氧化锆涂层,加工坩埚的牢固度,防止坩埚开裂,同时两个坩埚套装在一起,在坩埚受热膨胀时均匀加固了坩埚,延长了其使用寿命。

所述两钼坩埚之间存在缝隙,保证升降温时,热膨胀在晾干过中间的热应力释放,解决了坩埚开裂的问题。

本发明采用双层套筒氧化锆喷涂式钼坩埚,保证了坩埚的使用寿命,生产中每年用很少几个,坩埚能够反复多次使用,节约钼材资源,大大降低成本,并能增大坩埚尺寸,提高产品收率,保证晶体质量,有利于大规模生产。

(四)        附图说明

下面结合附图对本发明作进一步的说明。

图1为本发明的结构示意图。

图中,1钼坩埚,2氧化锆涂层,3缝隙。 

(五)        具体实施方式

附图为本发明的一种具体实施例。该实施例包括两个钼坩埚1,所述两钼坩埚1的外层均喷涂有氧化锆涂层2,两个钼坩埚1大小配合、上下套装在一起;所述两钼坩埚1之间存在缝隙3。

在两个钼坩埚1外层喷涂氧化锆涂层2,将两个钼坩埚1套装在一起,在坩埚受热膨胀时均匀加固了坩埚,使坩埚不开裂,保证了坩埚的多次使用,并彻底解决目前电阻炉所用坩埚尺寸不够大、装料少、产量低、质量不足等缺点。

氧化锆涂层2的作用有两个方面,一是加固坩埚的牢固度,防止在晶体生产中,特别是在升降温中(温度1950℃)使坩埚开裂,生产失败;二是由于两个钼坩埚1套装在一起,又一次加固坩埚,使升降温时热膨胀在两钼坩埚1中间热应力释放,解决了单层坩埚开裂的问题。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于单县晶瑞光电有限公司,未经单县晶瑞光电有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201310193227.8/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top