[发明专利]一种电阻炉单晶制备中所需的钼坩埚无效
| 申请号: | 201310193227.8 | 申请日: | 2013-05-23 |
| 公开(公告)号: | CN103320850A | 公开(公告)日: | 2013-09-25 |
| 发明(设计)人: | 侯玉国 | 申请(专利权)人: | 单县晶瑞光电有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10 |
| 代理公司: | 济南泉城专利商标事务所 37218 | 代理人: | 张贵宾 |
| 地址: | 274300 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 电阻炉 制备 坩埚 | ||
(一) 技术领域
本发明属于晶体制造领域,特别涉及一种电阻炉单晶制备中所需的钼坩埚。
(二) 背景技术
晶体制备中,所用单晶炉都会使用坩埚,常用的一种是铱金坩埚,价格昂贵,目前高达30万元人民币每公斤;而另一种是钼坩埚,价格较低。
由于新材料的发展,晶体材料在激光技术中广泛应用于工业生产、军事、通信、生物制药、医疗卫生等方面,一种是中频感应单晶炉生长方法,使用坩埚是铱金坩埚,设备、坩埚总投资每台高达300万人民币,每个坩埚重8公斤,价值240万元人民币,而采用钼坩埚电阻炉生产晶体,价格不到中频感应单晶炉的25%,但缺点是每次生产用一个钼坩埚,一年正常一套设备需用60-100个坩埚,增加了生产成本,造成了资源的浪费。
(三) 发明内容
本发明为了弥补现有技术的不足,提供了一种结构简单、使用价值高的电阻炉单晶制备中所需的钼坩埚。
本发明是通过如下技术方案实现的:
一种电阻炉单晶制备中所需的钼坩埚,包括两个钼坩埚,其特征在于:所述两钼坩埚的外层均喷涂有氧化锆涂层,两个钼坩埚大小配合、上下套装在一起。
本发明在坩埚外设置氧化锆涂层,加工坩埚的牢固度,防止坩埚开裂,同时两个坩埚套装在一起,在坩埚受热膨胀时均匀加固了坩埚,延长了其使用寿命。
所述两钼坩埚之间存在缝隙,保证升降温时,热膨胀在晾干过中间的热应力释放,解决了坩埚开裂的问题。
本发明采用双层套筒氧化锆喷涂式钼坩埚,保证了坩埚的使用寿命,生产中每年用很少几个,坩埚能够反复多次使用,节约钼材资源,大大降低成本,并能增大坩埚尺寸,提高产品收率,保证晶体质量,有利于大规模生产。
(四) 附图说明
下面结合附图对本发明作进一步的说明。
图1为本发明的结构示意图。
图中,1钼坩埚,2氧化锆涂层,3缝隙。
(五) 具体实施方式
附图为本发明的一种具体实施例。该实施例包括两个钼坩埚1,所述两钼坩埚1的外层均喷涂有氧化锆涂层2,两个钼坩埚1大小配合、上下套装在一起;所述两钼坩埚1之间存在缝隙3。
在两个钼坩埚1外层喷涂氧化锆涂层2,将两个钼坩埚1套装在一起,在坩埚受热膨胀时均匀加固了坩埚,使坩埚不开裂,保证了坩埚的多次使用,并彻底解决目前电阻炉所用坩埚尺寸不够大、装料少、产量低、质量不足等缺点。
氧化锆涂层2的作用有两个方面,一是加固坩埚的牢固度,防止在晶体生产中,特别是在升降温中(温度1950℃)使坩埚开裂,生产失败;二是由于两个钼坩埚1套装在一起,又一次加固坩埚,使升降温时热膨胀在两钼坩埚1中间热应力释放,解决了单层坩埚开裂的问题。
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