[发明专利]镀液和电镀方法有效
申请号: | 201310192257.7 | 申请日: | 2013-04-01 |
公开(公告)号: | CN103361683A | 公开(公告)日: | 2013-10-23 |
发明(设计)人: | D·R·罗默;E·亚高迪金;李仁镐 | 申请(专利权)人: | 罗门哈斯电子材料有限公司;陶氏环球技术有限公司 |
主分类号: | C25D3/56 | 分类号: | C25D3/56 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陈哲锋 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电镀 方法 | ||
1.一种电镀组合物,包含:镀液可溶的银离子源;水;酸性电解质;以及具有下列化学式的硫化物:
Y1-(CR1R2)m-S-(CR3R4)x-S-(CR5R6)n-Y2
其中Y1和Y2独立地选自CO2H,SO3H,PO3H2,CONR7R8和OH;R1,R2,R5和R6各自独立地选自H,(C1-C6)烷基,CO2H和羟基取代的(C1-C6)烷基;R3和R4各自独立地选自H和(C1-C6)烷基;m=1-6;n=1-6;R7和R8独立地选自H和(C1-C3)烷基;以及x=1-6;条件是:当Y1=OH时,m=3;当Y2=OH时,n=3;以及当R1,R2,R5和R6中任意一个是羟基取代的(C1-C6)烷基时,羟基键接在至少处于硫原子γ位置的碳原子上。
2.权利要求1的组合物,进一步包含镀液可溶的锡离子源。
3.权利要求1的组合物,其中R1,R2,R5和R6各自独立地选自H,(C1-C4)烷基,CO2H和羟基取代的(C1-C4)烷基。
4.权利要求1的组合物,其中Y1和Y2独立地选自CO2H,SO3H和PO3H2。
5.权利要求1的组合物,其中m=1-4。
6.权利要求1的组合物,其中n=1-4。
7.权利要求1的组合物,其中Y1和Y2相同。
8.权利要求1的组合物,其中Y1和Y2独立地选自CO2H,SO3H和OH;R1,R2,R5和R6各自独立地选自H,(C1-C3)烷基和羟基取代的(C1-C3)烷基;R3和R4各自独立地选自H和(C1-C3)烷基;m=1-4;n=1-4;以及x=1-4。
9.权利要求1的组合物,进一步包含具有下列化学式的烷氧基化胺氧化物表面活性剂
其中Ra选自(C6-C22)烷基和取代的(C7-C22)芳基;Rb是烷氧化单元;m是0-7并且表示Rb的摩尔数;n是0或1;以及Rc和Rd各自为至少一个烷氧化单元,并且Rc和Rd中烷氧化单元的总数为3-30。
10.一种沉积锡-银层的方法,包括:使基材与权利要求1的组合物接触;施加电压,持续一定时间,以便在基材上沉积含银层。
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