[发明专利]镀液和电镀方法有效

专利信息
申请号: 201310192257.7 申请日: 2013-04-01
公开(公告)号: CN103361683A 公开(公告)日: 2013-10-23
发明(设计)人: D·R·罗默;E·亚高迪金;李仁镐 申请(专利权)人: 罗门哈斯电子材料有限公司;陶氏环球技术有限公司
主分类号: C25D3/56 分类号: C25D3/56
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 陈哲锋
地址: 美国马*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 电镀 方法
【权利要求书】:

1.一种电镀组合物,包含:镀液可溶的银离子源;水;酸性电解质;以及具有下列化学式的硫化物:

Y1-(CR1R2)m-S-(CR3R4)x-S-(CR5R6)n-Y2

其中Y1和Y2独立地选自CO2H,SO3H,PO3H2,CONR7R8和OH;R1,R2,R5和R6各自独立地选自H,(C1-C6)烷基,CO2H和羟基取代的(C1-C6)烷基;R3和R4各自独立地选自H和(C1-C6)烷基;m=1-6;n=1-6;R7和R8独立地选自H和(C1-C3)烷基;以及x=1-6;条件是:当Y1=OH时,m=3;当Y2=OH时,n=3;以及当R1,R2,R5和R6中任意一个是羟基取代的(C1-C6)烷基时,羟基键接在至少处于硫原子γ位置的碳原子上。

2.权利要求1的组合物,进一步包含镀液可溶的锡离子源。

3.权利要求1的组合物,其中R1,R2,R5和R6各自独立地选自H,(C1-C4)烷基,CO2H和羟基取代的(C1-C4)烷基。

4.权利要求1的组合物,其中Y1和Y2独立地选自CO2H,SO3H和PO3H2

5.权利要求1的组合物,其中m=1-4。

6.权利要求1的组合物,其中n=1-4。

7.权利要求1的组合物,其中Y1和Y2相同。

8.权利要求1的组合物,其中Y1和Y2独立地选自CO2H,SO3H和OH;R1,R2,R5和R6各自独立地选自H,(C1-C3)烷基和羟基取代的(C1-C3)烷基;R3和R4各自独立地选自H和(C1-C3)烷基;m=1-4;n=1-4;以及x=1-4。

9.权利要求1的组合物,进一步包含具有下列化学式的烷氧基化胺氧化物表面活性剂

其中Ra选自(C6-C22)烷基和取代的(C7-C22)芳基;Rb是烷氧化单元;m是0-7并且表示Rb的摩尔数;n是0或1;以及Rc和Rd各自为至少一个烷氧化单元,并且Rc和Rd中烷氧化单元的总数为3-30。

10.一种沉积锡-银层的方法,包括:使基材与权利要求1的组合物接触;施加电压,持续一定时间,以便在基材上沉积含银层。

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