[发明专利]一种X射线光谱仪

说明书

技术领域

本发明涉及光谱仪领域，尤其涉及一种X射线光谱仪。

背景技术

从1948年，Fridman和Birks应用盖格计数管首先研制出波长色散X射线荧光光谱仪以来，在电子技术、电子计算机和材料科学的迅猛发展的推动下，X射线荧光光谱仪、X射线荧光分析技术和数据处理及仪器制造等方面取得了长足的进步。从上世纪九十年代起，世界各主要仪器制造商相继推出了由计算机控制的高智能化、自动化、专业化和小型化的波长色散X射线荧光光谱仪。目前X射线光谱仪其没有实时监控系统，在某个检测部分出问题时，只能停机检查各个部件来进行排除和维护仪器。

发明内容

本发明的目的是提供一种X射线光谱仪，本发明监控系统通过GPS与仪器直接进行联系，作到对仪器进行定期检查与维护，实时的诊断整机系统状况。

本发明的技术方案是这样实现的：

一种X射线光谱仪，包括：

X射线产生系统：包括用于激发样品中X射线的X射线管、用于提供所述X射线管电源的高压电源以及用于冷却所述X射线管的冷却装置；

分光装置系统：包括用于承载样品和抽真空的真空系统测量室以及与所述真空系统测量室外部连接的分光器，所述真空系统测量室包括用于承载样品的载物台和将所述样品发射出的X射线分类的分光室，所述分光器用于将从所述分光室中发射出的X射线再次分光；

信号采集处理系统：用于接收所述分光器发出的X射线将其转化为电信号，将所述电信号放大，并将所述放大的电信号的数据进行采集和处理，包括用于探测所述分光器的计数管、用于将所述电信号放大的前置放大器；

监控系统：用于实时智能的监控所述真空系统和所述X射线产生系统；

PC机控制系统：用于将所述信号采集处理系统得到的数据进行数据运算处理。

优选地，所述X射线管为上照射式或下照射式。

优选地，所述高压电源与所述X射线管通过高压电缆线连接。

优选地，还包括与所述真空系统测量室连接的进出样系统和样品自旋系统。

优选地，所述计数管为封闭计数管、流气正比计数管或闪烁计数管中的一种。

优选地，所述信号采集处理系统处理完的数据通过USB接口传送到PC机控制系统。

优选地，所述数据采集处理系统包括二十路数据采集通道、高速A/D采样模块和数据处理运算CPU。

优选地，还包括反馈系统，所述反馈系统包括显示装置和报警系统。

优选地，还包括设备装置，其包括键盘、鼠标和打印机。

本发明产生的有益效果是：监控系统通过GPS与仪器直接进行联系，作到对仪器进行定期检查与维护，实时的诊断整机系统状况，这样可使用户在维修工程师的指导下进行故障排除，如需维修工程师到现场维修可直接带去需要更换的零件，这样可减少维修费用和缩短故障停机时间，同时这种直接与谱仪相连而不通过控制仪器的计算机，可避免不经用户同意而使用用户软件或计数机网络。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明一种X射线光谱仪的原理示意图；

图2为本发明一种X射线光谱仪的结构示意图；

图中：1、PC机控制系统；2、USB线；3、通讯线；4、真空系统；5、高压电源；6、监控系统；7、冷却装置；8、油路；9、信号采集处理系统；10、P10气体；11、X射线管；12、分光器；13、计数管；14、分光室；15、流气压力与流量精密控制系统；16、气路；17、样品自旋系统；18、进出样系统；19、真空系统测量室；20、恒温室系统；21、高压电缆线。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。