[发明专利]超声清洁方法以及超声清洁装置

权利要求书

1.一种超声清洁方法，用于在溶解有气体的液体中清洁待清洁的物体(W)，所述方法用超声波辐照所述液体，并包括以下步骤：

-制备其中溶解有所述气体的所述液体；

-在用超声波辐照所述液体的同时搅拌所述液体，和实现含有溶解在所述液体中的所述气体的气泡连续产生的状态；以及

-在含有所述气体的气泡连续产生的状态中清洁待清洁的所述物体(W)。

2.权利要求1的超声清洁方法，其中实现含有所述气体的气泡连续产生的状态的步骤通过驱动在所述液体中的搅拌部分(4)触发。

3.权利要求1或2的超声清洁方法，其中清洁待清洁的所述物体(W)的步骤包括其中发生声致发光的步骤。

4.权利要求1～3之一的超声清洁方法，其中所述气体为氮气，并且所述液体中溶解气体的浓度为5ppm或以上和小于11ppm。

5.一种超声清洁装置(100)，用于在溶解有气体的液体中清洁待清洁的物体(W)，所述装置(100)用超声波辐照所述液体，并包括：

-用于用超声波辐照所述液体的辐照设备(30)；

用于容纳所述液体的容器(20)；以及

用于搅拌所述液体的机构(4)。