[发明专利]一种低放电电流的静电消除器无效
| 申请号: | 201310188457.5 | 申请日: | 2013-05-21 |
| 公开(公告)号: | CN103298229A | 公开(公告)日: | 2013-09-11 |
| 发明(设计)人: | 张俊辉 | 申请(专利权)人: | 苏州惠瑞自动化集成有限公司 |
| 主分类号: | H05F3/00 | 分类号: | H05F3/00 |
| 代理公司: | 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 | 代理人: | 刘述生 |
| 地址: | 215021 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 放电 电流 静电 消除 | ||
1.一种低放电电流的静电消除器,其特征在于,包括静电消除器本体、气压检测与调整机构和导电板,所述导电板内部设有导电腔,所述导电板表面设有管道接口和出气口,所述管道接口和出气口分别与所述导电腔连通,所述静电消除器本体上设有气体接口,所述气体接口、气压检测与调整机构和管道接口依次通过管道连接。
2.如权利要求1所述的低放电电流的静电消除器,其特征在于,所述静电消除器本体内部设有控制系统、静电检测机构、离子发生机构和洁净气体产生机构,所述静电检测机构、离子发生机构和洁净气体产生机构分别与所述控制系统电性连接。
3.如权利要求2所述的低放电电流的静电消除器,其特征在于,所述洁净气体产生机构包括气体腔,所述气体腔与所述气体接口连通。
4.如权利要求3所述的低放电电流的静电消除器,其特征在于,所述离子发生机构包括离子产生腔,所述离子产生腔内设有放电针。
5.如权利要求4所述的低放电电流的静电消除器,其特征在于,所述离子产生腔与所述气体腔连通。
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