[发明专利]吸附台

说明书

技术领域

本发明涉及一种适合于保持液晶显示面板、有机发光面板那样的显示板的吸附台。

背景技术

对于在玻璃基板上形成有电路的液晶显示面板那样的显示板，例如在制造工序中，使用探针台(prober)来对其进行电气检查。在该检查中，通常，利用负压将作为被检查体的液晶显示面板保持在被装入到探针台中的吸附台上。

为了将接受检查后的被检查体安全且迅速地自吸附台拆卸，在吸附台上，以能够自该吸附台的吸附面突出的方式设有用于使被检查体自该吸附面浮起的多个升降销(例如，参照专利文献1)。

位于突出位置的升降销在吸附面的上方自输送机器人接收到被检查体后下降到吸附面之下。在通过该升降销的下降来使被检查体移动到上述吸附面上后，通过装入到吸附台中的负压机构来使负压作用于上述吸附面。在上述被检查体接受检查的期间，该被检查体在上述负压的作用下被可靠地保持于上述吸附面。在检查后，随着升降销的上升，将被检查体自吸附面抬起。利用输送机器人将由上述升降销自吸附面抬起后的上述被检查体不受作用于吸附面与被检查体之间的较强的静电的影响地自吸附台除去。

但是，由于上述升降销与被检查体接触的接触面积较小，因此，随着被检查体的大型化导致的重量增加，被检查体的与升降销接触的接触部所受到的局部应力变大。具有该玻璃基板的被检查体的局部的应力集中会对被检查体带来较大的应力，故此不希望发生该局部的应力集中。

因此，提出有如下一种装置：由多个互相隔开间隔地平行配置的固定保持构件和在各固定保持构件之间以能够相对于该固定保持构件升降的方式配置的多个带状的升降构件来构成吸附面，在向该吸附面交接被检查体时，使上述升降构件相对于上述固定保持构件下降(例如，参照专利文献2)。

采用专利文献2所记载的装置，上述升降构件在其上升位置与上述固定保持构件共同构成平坦的吸附面。在吸附面与机械臂之间交接被检查体时，机械臂能够插入到由于多个带状的上述升降构件下降而形成的空间内，因此，机械臂与吸附面不会发生干涉，并且，由于互相平行地配置的多个固定保持构件以较大的带状面积支承被检查体，因此不会使较强的局部应力作用于被检查体而能够适当地处理被检查体。

然而，在专利文献2所记载的装置中，用于对被检查体进行吸附保持的负压所作用的吸附面由多个固定保持构件和能够分别在该固定保持构件之间进行升降的升降构件构成。因此，用于形成吸附面的支承台的结构变得复杂，且需要在支承台的内部设置用于使多个升降构件同时升降的机构，由于支承台的结构变得复杂，因此存在吸附装置因结构变得复杂而变得价格高昂这样的缺点。

专利文献1：日本特开2002－246450号公报

专利文献2：日本特开2011－29565号公报

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种能够不会造成结构的复杂化且不会使较强的应力局部地作用于作为被检查体的显示面板地在交接该显示面板时使该显示面板在吸附面上升降的吸附台。

本发明提供一种吸附台，其用于保持显示面板，其中，该吸附台包括：支承台，其具有开设有负压开口的吸附面；多个升降条，其以横穿上述吸附面的方式配置；多个凹部，该多个凹部彼此并行地设置在上述吸附面上，用于将上述升降条收纳在上述支承台内而使上述升降条不会自上述吸附面突出；支承机构，其在上述支承台的侧部中的、上述多个凹部敞开的部位以能够使上述升降条升降的方式支承上述升降条；以及升降装置，其为了使上述升降条在自上述凹部突出的上升位置与收纳在上述凹部中的下降位置之间升降而与上述支承机构相关联地设置。

在本发明的上述吸附台中，用于将上述升降条收纳于上述支承台的上述凹部以横穿上述支承台的上述吸附面的方式形成。能够收纳于上述凹部中的上述升降条通过设于上述支承台的侧部的上述支承机构而在收纳于上述凹部中的后退位置与自上述吸附面突出的突出位置之间升降。因而，不必如以往那样将上述支承台形成为多个固定构件和可动构件的集合体，另外，能够利用多个上述升降条来使该显示面板在上述吸附面上升降，以便将上述显示面板交接到上述吸附台上，因此，不会造成上述吸附台的结构的复杂化，即使是大型的显示面板，也能够防止较强的应力局部地作用于该显示面板。

能够在上述支承机构上设置用于对作用于上述升降条的冲击进行缓和的冲击缓和机构。在吸附台与例如机械臂之间交接上述显示面板时，通过该冲击缓和机构，不需要为了避免冲击作用于该显示面板而使机械臂的动作如以往那样显著地减速。因此能够不需要机械臂的缓慢的动作，因此能够谋求减少生产节拍时间。