[发明专利]一种多光源大视场拼接照明系统

权利要求书

1.一种多光源大视场拼接照明系统，其特征在于，包括：多个光源，多个光纤，及多个照明分系统，每个光源和每个照明分系统之间至少设置有一个光纤，光线由所述光源发射，经过所述多个光纤分别入射到所述多个照明分系统，经所述照明分系统处理后在掩模板上形成照明视场。

2.如权利要求1所述的多光源大视场拼接照明系统，其特征在于，所述照明分系统包括耦合透镜组，平板调节装置，匀光装置，及中继透镜组，由所述光纤引导的光线，入射到所述耦合透镜组耦合后，经平板调节装置调整角度，再经匀光装置匀光后进入中继透镜组。

3.如权利要求1或2所述的多光源大视场拼接照明系统，其特征在于，还包括投影物镜，所述投影物镜中设置狭缝光阑，由所述照明分系统出射的光线，经过所述投影物镜及所述狭缝光阑，在所述投影物镜的像面上形成梯形曝光视场。

4.如权利要求1所述的多光源大视场拼接照明系统，其特征在于，所述光源包括汞灯及椭球反射镜。

5.如权利要求2所述的多光源大视场拼接照明系统，其特征在于，所述匀光装置包括微透镜阵列和石英棒。

6.如权利要求1所述的多光源大视场拼接照明系统，其特征在于，所述光纤的数目与照明分系统数目相同。

7.如权利要求2所述的多光源大视场拼接照明系统，其特征在于，所述平板调节装置包括一个平行平板和两个楔角方向相反的楔形平板。

8.如权利要求7所述的多光源大视场拼接照明系统，其特征在于，所述两个楔形平板的倾斜角度分别为13.68°和11.31°。

9.如权利要求2所述的多光源大视场拼接照明系统，其特征在于，所述平板调节装置位于所述耦合透镜组后方，所述匀光装置前方。