[发明专利]一种用于激光光源的液态金属靶产生装置

权利要求书

1.一种液态金属靶产生装置，能够产生用于等离子激发的金属液滴，该装置包括用于存储液态金属靶材料(12)的储液箱(13)，储液箱(13)的底端与一个导管(14)相连通，其特征在于，该装置还包括：

腔体(18)，位于所述储液箱(13)的下方，使得所述导管(14)穿过腔体(18)的上部进入腔体内部，以至于所述储液箱(13)内的液态金属靶材料(12)能通过该导管(14)滴入到该腔体(18)的内部；

转轮(7)，呈圆柱体形且能绕其中心轴转动，且该中心轴与该导管(14)垂直，并且，该转轮(7)与导管(14)对准，以致从导管(14)中滴下的液态金属靶材料(12)能落到所述转轮(7)的侧面，并通过转动的所述转轮(7)的加速而形成所述金属液滴(5)。

2.如权利要求1所述的种液态金属靶产生装置，其特征在于，所述导管(14)的延长线与所述转轮(7)的所述中心轴不相交。

3.如权利要求2所述的种液态金属靶产生装置，其特征在于，所述转轮(7)的侧面开设有凹槽，且该凹槽对准所述导管(14)，以使从导管(14)中滴下的液态金属靶材料(12)落入该凹槽中。

4.如权利要求2所述的种液态金属靶产生装置，其特征在于，还包括出料导管(4)，其对准所述金属液滴(5)的前进方向，用于对该金属液滴(5)进行直径筛选，仅使直径小于导管内径的液滴通过该出料导管(4)。

5.如权利要求4所述的种液态金属靶产生装置，其特征在于，还包括压电陶瓷(3)，其安装在所述出料导管(4)的外围，用于对所述出料导管(4)的内径进行调节。

6.如权利要求1至5中任一项所述的种液态金属靶产生装置，其特征在于，所述腔体(18)的底部具有一个漏孔，多余的液体金属靶材料通过腔体(18)底部的漏孔流出腔体外。

7.如权利要求1至5中任一项所述的种液态金属靶产生装置，其特征在于，所述腔体(18)具有开口，该开口供激光入射到腔体内以激发所所述金属液滴。

8.如权利要求7所述的种液态金属靶产生装置，其特征在于，所述腔体(18)内还设置有收集镜(2)，其用于收集所述金属液滴受激光激发生的高温等离子体的激光辐射。

9.如权利要求8所述的种液态金属靶产生装置，其特征在于，该收集镜(2)以激光传播路径为法线中心对称。

10.如权利要求7所述的种液态金属靶产生装置，其特征在于，还包括位于所述腔体(18)内的电极回路(20)，该电极回路包括两个平行的电极(19)，所述激光对所述金属液滴加热使其气化，金属蒸气在两平行电极(19)之间扩散，扩散的金属蒸气团的边缘达到所述该两个平行的电极(19)后导通电极回路(20)，导通的电极回路对夹在两个平行的电极(19)之间的金属蒸气进行放电，将金属蒸气团电离生成高温等离子体，进而产生激光辐射。