[发明专利]一种真空高精度窗口的实现方法及其装置

权利要求书

1.一种真空高精度窗口的实现方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一：采用n块窗口玻璃构成光学窗口，所述n块窗口玻璃水平依次设置，使每相邻的两块玻璃之间形成封闭腔；

步骤二：对步骤一中形成的多个封闭腔进行抽真空处理；

步骤三：在经步骤二抽真空处理的多个封闭腔内充入惰性气体，使多个封闭腔内的压力顺次递增。

2.根据权利要求1所述的一种真空高精度窗口的实现方法，其特征在于，步骤三中所述的使多个封闭腔内的压力顺次递增具体满足以下要求：与真空相接触的第一块窗口玻璃一面是真空，一面是1/n个大气压；第二块窗口玻璃一面是1/n个大气压，一面是2/n个大气压……第n块窗口玻璃一面是（n-1）/n个大气压，一面是大气环境，即一个大气压强。

3.根据权利要求1或2所述的一种真空高精度窗口的实现方法，其特征在于，所述n的取值范围为n≧2。

4.根据权利要求1所述的一种真空高精度窗口的实现方法的装置，其特征在于，包括窗口玻璃A（1）窗口玻璃B（2）、密封圈A（3）、密封圈B（4）、密封圈C（5）、镜座B（6）、金属波纹管B（7）、柔性调整旋钮B（8）、镜座A（9）、金属波纹管A（10）、柔性调节旋钮A、安装座（12），安装接口（13）；

所述安装座（12）通过螺钉固定到安装接口（13）上，窗口玻璃A（1）通过压圈及密封圈A（3）、密封圈B（4）和密封圈C（5）安装到镜座A（9）上，其中连接用螺钉与压圈之间采用弹簧预紧，金属波纹管A（10）与镜座A（9）及安装座（12）之间采用密封圈进行密封安装，所述m个柔性调整旋钮A（11）圆周均布在所述镜座A（9）和所述安装座（12）之间，所述柔性调整旋钮A（11）可以改变所述镜座A（9）和所述安装座（12）之间的两维倾斜角度与距离；

所述窗口玻璃B（2）通过压圈及密封圈安装到镜座B（6）上，其中连接用螺钉与压圈之间采用弹簧预紧，金属波纹管B（7）与镜座B（6）及镜座A（9）之间采用密封圈进行密封安装，所述p个柔性调整旋钮B（8）圆周均布在所述镜座A（9）和所述安装座（12）B之间，所述柔性调整旋钮B（8）可以改变所述镜座A（9）和所述安装座（12）B之间的两维倾斜角度与距离；

采用n块窗口玻璃A（1）或窗口玻璃B（2）连续安装。

5.根据权利要求4所述的一种真空高精度窗口的实现方法的装置，其特征在于，所述n块窗口玻璃A（1）或窗口玻璃B（2）之间构成多个封闭腔，所述封闭腔内抽真空处理后填充化学性质稳定的干氮气。

6.根据权利要求4所述的一种真空高精度窗口的实现方法的装置，其特征在于，所述n的取值范围为n≧2。

7.根据权利要求4所述的一种真空高精度窗口的实现方法的装置，其特征在于，所述每个封闭腔内抽真空处理后填充化学性质稳定的干氮气的量具体满足一以下条件：与真空相接触的窗口玻璃A（1）一面是真空，一面是1/n个大气压；窗口玻璃B（2）一面是1/n个大气压，一面是2/n个大气压……第n块窗口玻璃一面是（n-1）/n个大气压，一面是大气环境，即一个大气压强。

8.根据权利要求4所述的一种真空高精度窗口的实现方法的装置，其特征在于，所述窗口玻璃A（1）和所述窗口玻璃B（2）均可以在垂直于光轴的平面内进行两维倾斜角度的微调。

9.根据权利要求4所述的一种真空高精度窗口的实现方法的装置，其特征在于，所述m的取值范围为：m≧3，所述p的取值范围为：p≧3。