[发明专利]电湿润元件的制造方法

说明书

技术领域

本发明是有关于显示元件或光学元件，且特别是有关于电湿润元件的制造方法。

背景技术

电湿润(electro-wetting)技术由于具有低耗电功率、广视角、高反射率、低驱动电压、结构简单，生产成本低等特点而广泛地应用于显示元件(display device)或液态光学偏折元件(liquid deflector)等领域。

电湿润元件是一种结构简单的显示元件，其包括上电极、下电极以及夹于两电极之间的极性液体层以及非极性液体层。详细而言，电湿润元件的多个画素区中都会有极性液体层以及非极性液体层。极性液体层以及非极性液体层的形成方法通常是先将非极性液体层形成于基板的多个画素区中，之后，再将基板浸入极性液体中，以形成极性液体层。然而，当将基板浸入极性液体中时，极性液体容易将非极性液体挤到邻近的画素区中或是扰动非极性液体层使其产生气泡，以致于工艺良率偏低。

发明内容

本发明一实施例提供一种电湿润元件的制造方法，包括：于一第一基板上形成一第一电极层；于第一基板上形成一疏水层，疏水层覆盖第一电极层；于第一基板上形成一挡墙，挡墙于第一基板上定义出至少一个像素区域；将一非极性液体形成于疏水层上，且使非极性液体位于像素区域中；进行一低温处理，以降低非极性液体的流动性或使非极性液体的黏度提高，或以低温处理使非极性液体的表面结霜，或使低温处理的温度低于非极性液体的凝固点使非极性液体凝固，低温处理的处理温度为15℃以下，将一极性液体覆盖于非极性液体上；提供一第二基板；以及使极性液体与非极性液体位于第二基板与第一基板之间。

本发明一实施例提供一种电湿润元件的制造方法，包括：于一第一基板上形成一第一电极层；于第一基板上形成一疏水层，疏水层覆盖第一电极层；于第一基板上形成一挡墙，挡墙于第一基板上定义出至少一个像素区域；将一非极性液体形成于疏水层上，且使非极性液体位于至少一个像素区域中；进行一低温处理，低温处理的处理温度为15℃以下；于一第二基板上形成一极性液体层；以及使第二基板与第一基板相对设置，且使极性液体与非极性液体位于第二基板与第一基板之间。

附图说明

图1A至图1D绘示本发明一实施例的电湿润元件的工艺剖面图。

图2A至图2D绘示本发明另一实施例的电湿润元件的工艺剖面图。

图3绘示本发明一实施例的电湿润元件的工艺剖面图。

图4A至图4D绘示本发明又一实施例的电湿润元件的工艺剖面图。

图5绘示本发明一实施例的电湿润元件的工艺剖面图。

图6A至图6C绘示本发明又一实施例的电湿润元件的工艺剖面图。

图7绘示本发明一实施例的电湿润元件的工艺剖面图。

图8绘示本发明一实施例的电湿润元件的工艺剖面图。

图9绘示本发明另一实施例的电湿润元件的工艺剖面图。

100、200、400、600  电湿润元件

110  第一基板

112  像素区域

120  第一电极层

122  电极单元

130  疏水层

140  挡墙

150  非极性液体

160  极性液体

170  第二基板

180  第二电极

190  低温载板

310、510  低温系统

410  喷嘴

610  结霜层

142、152  表面

A  密封条

D1  介电层

S、S2  涂布喷头

S1  狭缝

T  厚度

具体实施方式

以下将详细说明本发明实施例的制作与使用方式。然应注意的是，本发明提供许多可供应用的发明概念，其可以多种特定型式实施。文中所举例讨论的特定实施例仅为制造与使用本发明的特定方式，非用以限制本发明的范围。此外，在不同实施例中可能使用重复的标号或标示。这些重复仅为了简单清楚地叙述本发明，不代表所讨论的不同实施例及/或结构之间具有任何关连性。再者，当述及一第一材料层位于一第二材料层上或之上时，包括第一材料层与第二材料层直接接触或间隔有一或更多其它材料层的情形。在图式中，实施例的形状或是厚度可能扩大，以简化或是突显其特征。再者，图中未绘示或描述的元件，可为所属技术领域中具有通常知识者所知的任意形式。